[发明专利]光偏转器

权利要求书

1.一种光偏转器，其中，该光偏转器具备：

具有反射面的可动部；

弹性部件，其以使该可动部能够绕摆动轴摆动的方式支承该可动部；以及

支承该弹性部件的支承部，

所述弹性部件具有刚性连续变化的第一连接部，并在该第一连接部处与所述可动部连接，

刚性经由所述第一连接部在所述弹性部件和所述可动部之间连续变化，

所述弹性部件具备具有大致恒定的宽度的直线部，

所述弹性部件具有第二连接部，该第二连接部设置在所述直线部和所述支承部之间并连接所述直线部和所述支承部，

所述第二连接部的宽度朝向所述支承部逐渐增大，

所述第一连接部的最大宽度大于所述第二连接部的最大宽度。

2.根据权利要求1所述的光偏转器，其中，

所述可动部具有比所述弹性部件的刚性大的刚性，

所述第一连接部的刚性朝向所述可动部逐渐增大。

3.根据权利要求2所述的光偏转器，其中，

所述弹性部件与所述摆动轴大致平行地延伸，

所述第一连接部在与所述摆动轴垂直的宽度方向上的宽度朝向所述可动部逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的光偏转器，其中，

所述弹性部件具备具有大致恒定的宽度的直线部，

所述第一连接部设置在所述直线部和所述可动部之间，并连接所述直线部和所述可动部，

所述第一连接部的最大宽度为所述直线部的宽度的3倍以上，

在与所述摆动轴平行的长度方向上，所述第一连接部的长度为所述弹性部件的全长的1/10以上。

5.根据权利要求1所述的光偏转器，其中，

所述第一连接部具有在宽度方向上相互对置的两个第一侧面，该两个第一侧面是以第一曲率半径弯曲并与所述直线部的侧面和所述可动部的侧面连续的曲面，

所述第二连接部具有在所述宽度方向上相互对置的2个第二侧面，该2个第二侧面是以第二曲率半径弯曲并与所述直线部的侧面和所述支承部的侧面连续的曲面，

所述第一曲率半径大于所述第二曲率半径。

6.一种光偏转器，其中，该光偏转器具备：

具有反射面的可动部；

弹性部件，其构成为以使该可动部绕摆动轴摆动的方式支承该可动部；以及

支承该弹性部件的支承部，

所述弹性部件具有构成为刚性连续变化的第一连接部，并在该第一连接部处与所述可动部连接，

刚性经由所述第一连接部在所述弹性部件和所述可动部之间连续变化，

所述可动部由具有所述反射面的第一可动板和具有驱动力产生面的第二可动板形成，

所述第一可动板具有形成在所述反射面的背面的至少一个第一肋，

所述第二可动板具有形成在所述驱动力产生面的背面的至少一个第二肋，

所述第一肋和所述第二肋在相互交叉的方向上延伸，

所述第一肋的一部分和所述第二肋的一部分在相互交叉的位置接合。