[发明专利]光偏转器

说明书

光偏转器(1)具备：具有反射面(2a)的可动部(2)；弹性部件(3)，其以使可动部(2)能够绕摆动轴(A)摆动的方式支承可动部(2)；以及支承弹性部件(3)的支承部(4)，弹性部件(3)具有刚性连续变化的第一连接部(3b)，并在第一连接部(3b)处与可动部(2)连接，刚性经由第一连接部(3b)在弹性部件(3)和可动部(2)之间连续地变化。

技术领域

本发明涉及光偏转器，特别涉及通过由弹性部件构成的梁将具有反射面的可动部支承为能够摆动、并使可动部绕梁的扭转轴摆动来改变在反射面反射的光的方向的光偏转器。

背景技术

使用微型机械技术制作的光偏转器受到关注。微型机械技术是以半导体制造技术为基础的微细加工技术，在能够实现光偏转器的小型化和廉价的大量生产方面优良。近年来，在光偏转器中存在要求提高光束的扫描速度的倾向。通过提高扫描速度，光偏转器的可动部的动能增加，因此驱动时的反射面的动态应变增加，射束点的形状劣化成为课题之一。为了解决这样的课题，提出了几个方案(例如，参照专利文献1)。

专利文献1所记载的光偏转器通过扭转梁从两侧支承具有反射面的可动板，并以扭转梁为轴使可动板摆动，从而扫描被反射的光。在专利文献1中，以抑制由扭转运动产生的扭转梁的应力引起的反射面的变形为目的，在可动板与扭转梁的连接部附近设置有肋。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5168659号公报

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，在光偏转器中，要求降低具有反射面的可动板的动态应变和提高扫描速度。为了提高扫描速度，需要降低可动板的惯性力矩，或者提高扭转梁的扭转刚性。在提高了扭转梁的扭转刚性的情况下，一般偏转时产生的应力增加。在产生的应力达到扭转梁的破坏应力时，扭转梁破损。偏转时产生的应力在应力集中部达到最大值。因此，如果是不产生应力集中部的扭转梁，则能够降低随着提高刚性而增加的应力的最大值。因此，期望不产生应力集中部的扭转梁。

但是，根据专利文献1，为了抑制反射面的变形，在可动板与扭转梁的连接部设有肋，在扭转梁与可动板的连接部处刚性不连续。因此，偏转时产生的扭转梁的应力集中在连接部。因此，如果为了提高扫描速度而提高扭转梁的刚性，则专利文献1所记载的光偏转器容易破损。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种光偏转器，其可以抑制由扭转梁的应力引起的可动板的变形，并且即使提高扭转梁的扭转刚性也难以破损。

用于解决问题的手段

为了实现上述目的，本发明提供以下手段。

本发明的一个方式是一种光偏转器，该光偏转器具备：具有反射面的可动部；弹性部件，其以使该可动部能够绕摆动轴摆动的方式支承该可动部；以及支承该弹性部件的支承部，所述弹性部件具有刚性连续变化的第一连接部，并在该第一连接部处与所述可动部连接，刚性经由所述第一连接部在所述弹性部件和所述可动部之间连续变化。

发明效果

根据本发明，能够抑制由扭转梁的应力引起的可动板的变形，能够提供一种光偏转器，其能够抑制由扭转梁的应力引起的可动板的变形，并且即使提高扭转梁的扭转刚性也难以破损。

附图说明

图1A是本发明的一个实施方式的光偏转器的俯视立体图。

图1B是从反射面侧沿高度方向观察的图1A的光偏转器的俯视图。

图2是表示在具有作为刚性连续区域的第一连接部的弹性部件扭转时在光偏转器中产生的第一主应力的模拟结果的一例的图。

图3A是表示不具有作为刚性连续区域的第一连接部的弹性部件扭转时产生的第一主应力的模拟结果的图。