[发明专利]转移装置和使用方法

权利要求书

1.一种转移装置，其通过从供体基板的背面向位于移动的所述供体基板的表面上的对象物照射脉冲激光，选择性地将所述对象物剥离，并将所述对象物转移到边与所述供体基板相对边移动的受体基板上，

所述转移装置的特征在于，

所述转移装置包括：

脉冲振荡的激光装置；

望远镜，使从所述激光装置射出的脉冲激光成为平行光；

整形光学系统，将通过了所述望远镜的脉冲激光的空间强度分布整形为均匀的分布；

掩膜，使由所述整形光学系统整形后的脉冲激光以规定的图案通过；

场镜，位于所述整形光学系统和所述掩膜之间；

投影透镜，将通过了所述掩膜的图案的激光缩小投影在所述供体基板的表面；

掩膜台，保持所述场镜和所述掩膜；

光学台，保持所述整形光学系统、所述掩膜台和所述投影透镜；

供体台，以使所述供体基板的背面成为激光的射入侧的朝向保持所述供体基板；

受体台，保持所述受体基板；以及

可编程的多轴控制装置，具有所述脉冲激光振荡用的触发输出功能和台控制功能，

所述受体台具有将水平面作为XY平面时的Y轴、铅垂方向的Z轴和XY平面内的θ轴，

所述供体台具有X轴、Y轴和θ轴，

所述投影透镜与所述投影透镜用的Z轴台一起保持在所述光学台上，

所述望远镜、所述整形光学系统、所述场镜、所述掩膜和所述投影透镜构成缩小投影光学系统，所述缩小投影光学系统将所述掩膜的图案缩小投影在所述供体基板的表面，

所述供体台的X轴设置在平台1上，

所述受体台的Y轴设置在与所述平台1不同的平台2上，

所述供体台的Y轴悬挂设置于所述供体台的X轴。

2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，

所述供体台的X轴放置在所述平台1上，

所述光学台放置在所述供体台的X轴上。

3.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，

所述光学台放置在所述平台1上，

所述供体台的X轴悬挂设置于所述平台1。

4.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，

所述供体台的X轴安装在所述平台1上，

所述光学台放置在与所述平台1和所述平台2都不同的平台3上。

5.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，在所述供体台的X轴和所述平台1之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述供体台的X轴和所述供体台的Y轴之间具有对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构。

6.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，在所述供体台的X轴和所述平台1之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述供体台的X轴和所述光学台之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述供体台的X轴和所述供体台的Y轴之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构。

7.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，在所述供体台的X轴和所述平台1之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述光学台和所述平台1之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述供体台的X轴和所述供体台的Y轴之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构。

8.根据权利要求4所述的转移装置，其特征在于，在所述供体台的X轴和所述平台1之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述光学台和所述平台3之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构，在所述供体台的X轴和所述供体台的Y轴之间具有用于对两者间的XY平面内的设置角度进行微调整的转动调整机构。