[发明专利]磁悬浮系统、磁悬浮系统的底座、真空系统、及在真空腔室中非接触地保持及移动载体的方法

权利要求书

1.一种磁悬浮系统(100)，用于在真空腔室(1)中非接触地保持及移动载体(103)，所述磁悬浮系统包括：

底座(101)，界定传送轨道(102)；

载体(103)，沿着所述传送轨道(102)在所述底座(101)的上方是可移动的；

至少一个磁性轴承(104)，用于在所述底座(101)及所述载体(103)之间产生磁悬浮力(F)，所述至少一个磁性轴承(104)包括布置于所述底座(101)的第一磁体单元(105)及布置于所述载体(103)的第二磁体单元(108)；以及

磁性侧向稳定装置(109)，用于在侧向方向中稳定所述载体(103)，所述磁性侧向稳定装置(109)包括布置于所述底座(101)的稳定磁体单元(106)；

其中所述第一磁体单元(105)及所述稳定磁体单元(106)的至少一者布置在所述底座(101)的壳体空间(1011)中，所述壳体空间(1011)通过分隔壁(107)与所述真空腔室(1)的内部容积(10)分隔。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮系统(100)，其中所述第一磁体单元(105)及所述第二磁体单元(108)是相同极性的磁极彼此面对的永久磁体。

3.根据权利要求1或2所述的磁悬浮系统(100)，其中所述分隔壁(107)提供所述真空腔室(1)的所述内部容积(10)及所述底座(101)的所述壳体空间(1011)之间的真空紧密密封。

4.根据权利要求1-3任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述分隔壁(107)被设置成覆盖所述底座(101)并沿着所述传送轨道(102)延伸的平坦盖件。

5.根据权利要求1-4任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述分隔壁(100)被设置成非磁性金属片，特别是非磁性钢片。

6.根据权利要求1-5任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述分隔壁(107)具有0.5mm以上且5mm以下的厚度。

7.根据权利要求1-6任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述磁性侧向稳定装置(109)的所述稳定磁体单元(106)被主动地控制并且布置在所述底座(101)的所述壳体空间(1011)中，所述磁性侧向稳定装置(109)更包括磁性配对件(110)，所述磁性配对件(110)布置于所述载体(103)处并被构造为与所述稳定磁体单元(106)磁性交互作用，特别是，其中所述磁性配对件(110)包括永久磁体和/或所述稳定磁体单元(106)包括线圈。

8.根据权利要求1-7任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述磁性侧向稳定装置(109)包括洛伦兹致动器。

9.根据权利要求1-8任一项所述的磁悬浮系统(100)，更包括线性马达(112)，用于沿着所述传送轨道(102)移动所述载体(103)，所述线性马达(112)包括布置在所述壳体空间(1011)中的驱动线圈。

10.根据权利要求1-9任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述载体(103)被构造为被动移动件，所述被动移动件不承载主动控制磁性元件。

11.根据权利要求1-10任一项所述的磁悬浮系统(100)，其中所述底座(101)包括可移动轨道部，特别是可旋转轨道部(113)，经构造以改变非接触地保持于所述可移动轨道部的上方的载体(103)的移动方向，特别是，其中所述可移动轨道部包括可移动壳体空间(1011)，所述可移动壳体空间(1011)与所述真空腔室(1)的所述内部空间(10)分隔并容纳所述磁悬浮系统(100)的至少一个磁体单元。