[发明专利]计测装置、计测方法和显微镜系统

权利要求书

1.一种计测装置，其具备：

摄像部，其具备至少物体侧为远心的光学系统，并取得被摄体的图像；

旋转移动部，其使所述摄像部和所述被摄体绕与所述光学系统的光轴交叉的轴线相对地旋转移动；

角度检测部，其检测通过该旋转移动部进行旋转的旋转角度；以及

计算部，其基于在通过所述旋转移动部进行的旋转移动前后由所述摄像部取得的2张所述图像和由所述角度检测部检测出的所述旋转角度，计算所述被摄体的高度尺寸。

2.根据权利要求1所述的计测装置，其中，

所述被摄体被固定在所述光轴上，

所述旋转移动部使所述摄像部绕所述轴线旋转移动。

3.根据权利要求1所述的计测装置，其中，

所述摄像部被固定为使得所述被摄体被配置在所述光轴上，

所述旋转移动部使所述被摄体绕所述轴线旋转移动。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的计测装置，其中，

所述计算部通过匹配处理来确定2张所述图像上的同一关注点的与所述光轴正交的2个方向上的坐标。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的计测装置，其中，

所述计算部针对所述旋转角度不同的多对所述图像分别计算高度尺寸，并计算所计算出的多个高度尺寸的统计值作为所述被摄体的高度尺寸。

6.根据权利要求1所述的计测装置，其中，

所述计算部计算2张所述图像上的多个同一关注点的三维坐标值。

7.根据权利要求6所述的计测装置，其中，

所述计算部使用所述三维坐标值生成三维形状信息。

8.根据权利要求6或7所述的计测装置，其中，

所述计算部针对所述旋转角度不同的多对所述图像分别计算所述三维坐标值，并对计算出的所述三维坐标值进行综合。

9.根据权利要求8所述的计测装置，其中，

所述计算部在对计算出的所述三维坐标值进行综合时，使用由所述角度检测部检测出的所述旋转角度来进行所述三维坐标值之间的位置对准。

10.根据权利要求8所述的计测装置，其中，

所述计测装置具有显示部，所述显示部显示计算出所述三维坐标值的多个所述同一关注点，

所述计算部在每次由所述摄像部取得2张所述图像时计算所述三维坐标值。

11.一种计测方法，其具有如下步骤：

将摄像部和被摄体配置为绕与光学系统的光轴交叉的轴线的第1旋转角度，并通过所述摄像部取得第1图像，其中，所述摄像部具备至少物体侧为远心的所述光学系统并取得所述被摄体的图像；

将所述摄像部和所述被摄体配置为绕所述轴线的第2旋转角度，并通过所述摄像部取得第2图像；以及

基于由所述摄像部取得的所述第1图像和所述第2图像、以及所述第1旋转角度与所述第2旋转角度的差分，计算所述被摄体的高度尺寸。

12.一种显微镜系统，其具备显微镜和图像处理装置，

所述显微镜具备：

载台，其搭载被摄体；

摄像部，其具备至少物体侧为远心的物镜光学系统，并取得所述被摄体的图像；

旋转移动部，其使所述摄像部和所述载台绕与所述物镜光学系统的光轴交叉的轴线相对地旋转移动；以及

角度检测部，其检测通过该旋转移动部而使所述摄像部与所述载台进行旋转的旋转角度，

所述图像处理装置基于在通过所述旋转移动部进行的旋转移动前后由所述摄像部取得的2张所述图像和由所述角度检测部检测出的所述旋转角度，计算所述被摄体的高度尺寸。