[发明专利]计测装置、计测方法和显微镜系统

说明书

计测装置(1)具备：摄像部(5)，其具备至少物体侧为远心的光学系统(8)，取得被摄体(A)的图像；旋转移动部(6)，其使摄像部(5)和被摄体(A)绕与光学系统(8)的光轴交叉的轴线相对地旋转移动；角度检测部(7)，其检测通过旋转移动部(6)而旋转的旋转角度；以及计算部，其基于在通过旋转移动部(6)进行的旋转移动前后由摄像部(5)取得的2张图像和由角度检测部(7)检测出的旋转角度，计算被摄体(A)的高度尺寸。

技术领域

本发明涉及计测装置、计测方法以及显微镜系统。

背景技术

已知有如下的显微镜系统：使物体与摄像部的光轴方向的距离变化，从而计测在由摄像部取得的图像上合焦的位置的高度尺寸(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5730696号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1的显微镜系统中，物镜光学系统一般是远心光学系统，在通过上述方法进行三维形状计测的情况下，特别是在用于宽视野观察的低倍率的透镜中，合焦范围宽，因此存在无法高精度地计测高度的不良情况。

本发明的目的在于提供一种能够使用远心光学系统以宽视野且高精度计测高度尺寸的计测装置、计测方法以及显微镜系统。

用于解决问题的手段

本发明的一个方式是一种计测装置，其具备：摄像部，其具备至少物体侧为远心的光学系统，并取得被摄体的图像；旋转移动部，其使所述摄像部和所述被摄体绕与所述光学系统的光轴交叉的轴线相对地旋转移动；角度检测部，其检测通过该旋转移动部进行旋转的旋转角度；以及计算部，其基于在通过所述旋转移动部进行的旋转移动前后由所述摄像部取得的2张所述图像和由所述角度检测部检测出的所述旋转角度，计算所述被摄体的高度尺寸。

根据本方式，将被摄体和摄像部配置在规定的相对位置，通过摄像部取得被摄体的图像，之后，通过旋转移动部的动作，使被摄体和摄像部围绕与光学系统的光轴交叉的轴线相对地旋转移动，由旋转角度检测部检测旋转角度。然后，在旋转后的相对位置，通过摄像部取得被摄体的图像。由此，通过计算部，基于在旋转移动前后取得的2张图像和旋转角度，计算被摄体的高度尺寸。

即，能够通过摄像部计测与光轴正交的二维方向的被摄体的各位置，并且通过上述方法，能够计算被摄体的各位置的高度尺寸，能够使用远心光学系统，广视野且高精度地计测高度尺寸。

在上述方式中，也可以是，所述被摄体被固定在所述光轴上，所述旋转移动部使所述摄像部绕所述轴线旋转移动。

根据该结构，能够将被摄体固定在光轴上，通过旋转移动部使摄像部旋转移动，取得2张图像和旋转角度。

另外，在上述方式中，也可以是，所述摄像部被固定为使得所述被摄体被配置在所述光轴上，所述旋转移动部使所述被摄体绕所述轴线旋转移动。

根据该结构，能够在被固定的摄像部的光轴上配置被摄体，通过旋转移动部使被摄体旋转移动，取得2张图像和旋转角度。

另外，在上述方式中，也可以是，所述计算部通过匹配处理来确定2张所述图像上的同一关注点的与所述光轴正交的2个方向上的坐标。

根据该结构，通过计算部进行匹配处理，能够确定2张图像上共同的关注点的与光轴正交的二维坐标。并且，能够基于该二维坐标，计算该关注点处的被摄体的高度，其结果，能够得到关注点的三维坐标。

另外，在上述方式中，也可以是，所述计算部针对所述旋转角度不同的多对所述图像分别计算高度尺寸，并计算所计算出的多个高度尺寸的统计值作为所述被摄体的高度尺寸。