[其他]薄膜ESD保护器件

权利要求书

1.一种薄膜ESD保护器件，其特征在于，具备：

半导体基板，具有相互对置的第1主面和第2主面；

第1绝缘层，形成于所述第1主面；

第1输入输出电极、第2输入输出电极和接地电极，形成于所述第1绝缘层的表面；

二极管元件，形成于所述半导体基板的所述第1主面侧，具有与所述第1输入输出电极电连接的第1端和与所述接地电极电连接的第2端；

电容器元件，形成于所述半导体基板的所述第1主面侧，具有与所述第2输入输出电极电连接的第3端和与所述接地电极电连接的第4端；和

电感器元件，形成于所述半导体基板的所述第2主面侧，具有第5端和第6端，

所述电感器元件的所述第5端经由从所述半导体基板的所述第1主面贯通至所述第2主面的第1导通导体而与所述第1输入输出电极电连接，

所述电感器元件的所述第6端经由从所述半导体基板的所述第1主面贯通至所述第2主面的第2导通导体而与所述第2输入输出电极电连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

所述半导体基板为高电阻基板。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

在所述第1主面或者所述第2主面的平面视图中，所述二极管元件和所述电容器元件不重叠。

4.根据权利要求1或2所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

由所述半导体基板、所述第1绝缘层、和形成于所述第2主面的第2绝缘层构成层叠体，

在所述第1主面或者所述第2主面的平面视图中，所述层叠体呈具有相互对置的第1边和第2边的矩形状，

所述第1输入输出电极和所述第2输入输出电极配置于所述第1边附近，

所述接地电极配置于所述第2边附近。

5.根据权利要求4所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

所述第2绝缘层至少局部具有磁性体，

所述电感器元件构成为包含所述磁性体和形成于所述第2主面侧的线圈导体。

6.根据权利要求5所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

所述线圈导体形成于所述第2主面，

所述磁性体是粘贴于所述第2主面的磁性体片材。

7.根据权利要求5所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

所述电感器元件构成为包含所述磁性体和形成于所述磁性体的线圈导体，

所述磁性体是粘贴于所述第2主面的片材。

8.根据权利要求1或2所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

所述第1导通导体或者所述第2导通导体在外周面形成有磁性体膜。

9.根据权利要求1或2所述的薄膜ESD保护器件，其特征在于，

由所述电感器元件与所述电容器元件构成低通滤波器。