[发明专利]一种超薄晶圆自动刷胶装置

权利要求书

1.所述的一种超薄晶圆自动刷胶装置，其特征在于：

在刷胶位置处，创造一个高度差，即一个所需高度的台阶，在台阶的底部放置产品，同时对产品进行固定；然后将胶体灌满整个台阶内的空间，再利用一个标准平面，在台阶上部进行刮胶动作，将整个台阶淹没掉，即胶体填充满整个台阶，使台阶消失，成为一个平面；最后利用机构将产品顶起，在产品升起的过程中，产品边缘的胶体自然撕裂，最终取出的产品只在上表面覆盖了所需厚度的胶体，整个刷胶过程结束；其特征在于它包括(1)刮胶升降电机、(2)刮胶伸缩电机、(3)刮胶旋转电机、（4）刮胶板、（5）刷胶前后气缸、（6）刷胶上下气缸、（7）刷胶刮刀、（8）晶圆、（9）刷胶台、（10）刷胶槽、（11）密封圈、（12）负压腔、（13）顶针、（14）顶针气缸、（15）刷胶台升降电机、（16）取放片手臂、（17）取放片伸缩气缸、（18）取放片升降电机。

2.根据权利要求1所述其特征在于该发明是利用一个台阶高度差来控制刷胶厚度的方法。

3.根据权利要求1所述其特征在于待刷胶产品淹没于胶体内，通过上升等方式，从胶体中取出。

4.根据权利要求1所述其特征在于刷胶厚度通过升降电机调节刷胶台于刷胶槽的厚度来控制胶层厚度。

5.根据权利要求1所述其特征在于在清除刷胶台残余胶体时，使用旋转配合推动方式进行除胶。