[发明专利]影像感测器、微透镜阵列以及用于制造在该影像感测器中具有不同高度的微透镜阵列的方法

权利要求书

1.一种用于制造在一影像感测器中具有不同高度的一微透镜阵列的方法，其中所述影像感测器具有一彩色滤光片阵列，所述彩色滤光片阵列包含有分别对应于所述影像感测器的每一像素与每一感光二极体的复数个第一彩色滤光片、复数个第二彩色滤光片以及复数个第三彩色滤光片，以及所述方法包含有：

在所述彩色滤光片阵列上形成一微透镜材料层；

利用一第一光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第一彩色滤光片对应的所述微透镜材料层；

利用一第二光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第二彩色滤光片对应的所述微透镜材料层；

利用一第三光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第三彩色滤光片对应的所述微透镜材料层；以及

回流已被漂白的所述微透镜材料层以形成具有不同高度的所述微透镜阵列。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用所述第一光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第一彩色滤光片对应的所述微透镜材料层的步骤包含有：

通过所述第一光罩的一第一图案曝光对应于每一第一彩色滤光片的所述微透镜材料层，其中所述第一图案防止对应于每一第二彩色滤光片和每一第三彩色滤光片的所述微透镜材料层被曝光。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用所述第二光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第二彩色滤光片对应的所述微透镜材料层的步骤包含有：

通过所述第二光罩的一第二图案曝光对应于每一第二彩色滤光片的所述微透镜材料层，其中所述第二图案防止对应于每一第一彩色滤光片和每一第三彩色滤光片的所述微透镜材料层被曝光。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用所述第三光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第三彩色滤光片对应的所述微透镜材料层的步骤包含有：

通过所述第三光罩的一第三图案曝光对应于每一第三彩色滤光片的所述微透镜材料层，其中所述第三图案防止对应于每一第一彩色滤光片和每一第二彩色滤光片的所述微透镜材料层被曝光。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，回流已被漂白的所述微透镜材料层以形成具有不同高度的所述微透镜阵列的步骤包含有：

形成所述微透镜阵列以产生具有对应于每一第一彩色滤光片的一第一高度的一第一组微透镜，具有对应于每一第二彩色滤光片的一第二高度的一第二组微透镜，以及具有对应于每一第三彩色滤光片的一第三高度的一第三组微透镜；其中所述第一高度高于所述第二高度，并且所述第二高度高于所述第三高度。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，每一第一彩色滤光片是红色滤光片，每一第二彩色滤光片是一绿色滤光片，并且每一第三彩色滤光片是一蓝色滤光片。

7.一种在一影像感测器中的具有不同高度的微透镜阵列，其中所述影像感测器具有一彩色滤光片阵列，所述彩色滤光片阵列包含有分别对应于所述影像感测器的每一像素与每一感光二极体的复数个第一彩色滤光片、复数个第二彩色滤光片以及复数个第三彩色滤光片，以及所述微透镜阵列包含有：

一第一组微透镜，在一像素尺寸等级中具有与每一第一彩色滤光片对应的一第一可调整高度；

一第二组微透镜，在所述像素尺寸等级中具有与每一第二彩色滤光片对应的一第二可调整高度；以及

一第三组微透镜，在所述像素尺寸等级中具有与每一第三彩色滤光片对应的一第三可调整高度；

其中所述第一可调整高度高于所述第二可调整高度，以及所述第二可调整高度高于所述第三可调整高度。

8.如权利要求7所述的微透镜阵列，其特征在于，每一第一彩色滤光片是一红色滤光片，每一第二彩色滤光片是一绿色滤光片，以及每一第三彩色滤光片是一蓝色滤光片。

9.如权利要求7所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一组微透镜和每一第一彩色滤光片决定一第一焦深，所述第二组微透镜和每一第二彩色滤光片决定一第二焦深，第三组微透镜和每一第三彩色滤光片决定一第三焦深，以及所述第一焦深、所述第二焦深和所述第三焦深彼此相同或非常接近。