[发明专利]一种化学品分析装置

说明书

本发明公开了一种化学品分析装置，属于化学品分析设备领域，包括输送平台、上料平台和下料平台，上料平台和下料平台分别连接在输送平台的两端，输送平台上设有支撑架，支撑架上设有若干个试剂添加机构和若干个定位机构，所述输送平台的顶部开设有输送槽，输送槽内设有输送机构，输送机构上设有限位机构，所述上料平台与输送平台的侧壁上设有第一安装板，第一安装板上设有第一机械手，所述输送平台与下料平台的侧壁上设有第二安装板，第二安装板上设有第二机械手，所述上料平台的顶部设有计量机构，所述下料平台的顶部设有分析机构。本发明实现了自动搬运输送、自动添加试剂和自动分析，提高了分析效率和分析精确度，并且降低了工作人员的危险性。

技术领域

本发明涉及化学品分析设备领域，尤其是涉及一种化学品分析装置。

背景技术

随着我国半导体行业不断地持续发展，芯片生产线在我国也开始越发规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，厂商越发重视每一个化学品供应系统设备。

因化学品对人体的伤害极其巨大，极容易影响人体的各项功能及指标，所以在使用之前都需要进行取样分析，从而才能够让人放心使用。传统的分析方法是工作人员先将化学品依次加入若干个器皿中，然后向所有器皿中滴入不同的试剂，最后再依次对所有混合后的化学品进行分析。全部依靠人工进行分析操作会让工作人员存在一定危险性，而且效率缓慢，精度不高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学品分析装置以解决上述的人工进行分析操作会让工作人员存在一定危险性，而且效率缓慢，精度不高的问题。

本发明提供一种化学品分析装置，包括输送平台、上料平台和下料平台，所述上料平台和下料平台分别连接在输送平台的两端，所述输送平台上设有呈L型的支撑架，支撑架上设有若干个等间距设置的试剂添加机构和若干个与若干个试剂添加机构一一对应的定位机构，所述输送平台的顶部开设有输送槽，输送槽内设有输送机构，输送机构上设有限位机构，所述上料平台与输送平台的侧壁上设有第一安装板，第一安装板上设有第一机械手，所述输送平台与下料平台的侧壁上设有第二安装板，第二安装板上设有第二机械手，所述上料平台的顶部设有计量机构，所述下料平台的顶部设有分析机构。

进一步的，所述试剂添加机构包括升降气缸、试剂存储罐、计量泵、软管、连接管和滴管，所述升降气缸呈竖直安装在支撑架上，并且升降气缸的输出端贯穿支撑架，升降气缸的输出端上安装有安装座，所述连接管通过卡箍安装在安装座上，所述滴管呈竖直连通在连接管上，所述支撑架的外壁上设有安装支架，所述试剂存储罐安装在安装支架内，所述计量泵安装在试剂存储罐的顶部，计量泵的旁侧设有加料管，加料管上设有封盖，所述支撑架上开设有供软管通过的通孔，所述软管的一端与计量泵连接，另一端与连接管连接。

进一步的，所述定位机构包括红外传感器和呈L型的固定板，所述固定板固定在支撑架上，所述红外传感器呈水平安装在固定板上。

进一步的，所述输送机构包括输送电机、第一链轮、第二链轮、光杆、丝杆和输送板，所述光杆安装在输送槽内，所述丝杆转动安装在输送槽内并位于光杆旁侧，所述输送电机安装在上料平台内，所述第一链轮安装在输送电机的输出端上，所述第二链轮安装在丝杆上并位于第一链轮的正上方，所述第一链轮与第二链轮通过链条传动连接，所述输送板的底部设有呈间隔设置的第一连接头和第二连接头，所述第一连接头上开设有与光杆滑动配合的滑槽，所述第二连接头上开设有与丝杆螺纹配合的螺纹孔。

进一步的，所述限位机构包括两个对称设置在输送板上的限位组件，所述限位组件包括第一电动推杆和弧形限位板，所述第一电动推杆呈水平安装在输送板上，所述弧形限位板安装在第一电动推杆的输出端上。