[发明专利]一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法在审
申请号: | 201910007276.5 | 申请日: | 2019-01-04 |
公开(公告)号: | CN109626646A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 尹云舰;刘志彪;邢攸美 | 申请(专利权)人: | 杭州格林达电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C02F9/04 | 分类号: | C02F9/04;C02F101/14 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人: | 施王蓉 |
地址: | 310000 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 减薄 含氟玻璃 废液 有机酸碱金属盐 在线回收 再利用 制程 碱金属氢氧化物 玻璃 碱金属盐 氟硅酸 固体物 回收液 氢氟酸 蚀刻液 阴离子 有机酸 原玻璃 沉降 补加 含氟 微滤 皂化 脱水 沉淀 按摩 清洗 计量 返回 分析 | ||
1.一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
(1)分析含氟玻璃减薄废液的各种酸组分含量;
(2)在不断搅拌下,按摩尔计量比将有机酸碱金属盐添加到含氟玻璃减薄废液中进行混合,使含氟玻璃减薄液中的氟硅酸以氟硅酸碱金属盐形式沉淀在底部析出,有机酸碱金属盐酸化后形成有机酸,并在混合液上部分层;
(3)待沉淀沉降后,从底部分离出沉淀物,经过清洗、脱水、干燥后得到氟硅酸碱金属盐固体物;
(4)从上部分离出有机酸,经过碱金属氢氧化物皂化、干燥后得到有机酸碱金属盐,并回用于步骤(1)的废液处理中;
(5)对中部分离的经过处理的含氟液进行成分分析,通过补加氢氟酸和其他酸组分,使其符合原玻璃减薄制程中蚀刻液各组分含量后,经过微滤,返回到原制程中继续使用。
2.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(2)所述的有机酸碱金属盐为有机羧酸与碱金属形成的一种有机碱金属盐,其组成为:有机羧酸部分包括5~18碳原子饱和烷基链及其同分异构体的羧酸中的一种,碱金属部分包括钠或钾的其中一种。
3.根据权利要求2所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,有机羧酸部分为6~9碳原子饱和直链烷基一元羧酸中的一种。
4.根据权利要求2所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(2)所述的有机酸碱金属盐为己酸钠、庚酸钠、辛酸钠、壬酸钠、己酸钾、庚酸钾、辛酸钾、壬酸钾中的任意一种。
5.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(2)所述的有机酸碱金属盐与氟硅酸的摩尔比为1~5∶1。
6.根据权利要求5所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(2)所述的有机酸碱金属盐与氟硅酸的摩尔比为2~3∶1。
7.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(2)所述的混合搅拌时间至少为2H。
8.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(4)所述的皂化过程所用的碱金属种类与步骤(1)中的碱金属为同一种。
9.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,步骤(5)所述的微滤,其滤芯的孔径为0.1um。
10.根据权利要求1所述含氟玻璃减薄废液回收再利用的方法,其特征在于,HF采用氟离子电极检测法分析,硫酸和盐酸采用自动滴定法,NH4HF2采用甲醛滴定法。
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