[发明专利]一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法

说明书

本发明涉及一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法：(1)分析含氟玻璃减薄废液的各种酸组分含量；(2)在不断搅拌下，按摩尔计量比将有机酸碱金属盐添加到含氟玻璃减薄废液中进行混合；(3)待沉淀沉降后，从底部分离出沉淀物，经过清洗、脱水、干燥后得到氟硅酸碱金属盐固体物；(4)从上部分离出有机酸，经过碱金属氢氧化物皂化、干燥后得到有机酸碱金属盐；(5)对中部分离的经过处理的含氟液通过补加氢氟酸和其他有用酸组分，使其符合原玻璃减薄制程中蚀刻液各组分含量后，经过微滤，返回到原制程中继续使用。本发明不会给处理后的回收液带入阴离子，反应过程温和，安全可靠。

技术领域

本发明涉及一种玻璃减薄行业含氟玻璃减薄废液在线回收再利用的方法，属于玻璃减薄行业玻璃减薄废液回收再利用技术领域。

背景技术

随着现代科技的高速发展，电子显示设备越来越趋向于轻薄化，显示玻璃屏的厚度已经从1996年的1.1mm降到目前的0.5mm，特表是手机、平板等便携电子设备应用的玻璃屏甚至降到0.3mm以下。在显示玻璃屏的制作工艺中，玻璃基板的薄化处理是确保该工艺完成的重要环节，减薄效果的好坏将直接影响产品的质量。

目前酸蚀刻处理是最常用的玻璃减薄方法，其酸组成有HF单酸系、HF-硫酸/盐酸系、HF-氟化氢铵/硫酸/盐酸系等，主要原理就是用含HF的混合酸液与玻璃表面的SiO₂以及其它金属氧化物发生反应，使得玻璃表面发生剥离，实现玻璃减薄以及表面强化目的。添加盐酸或硫酸可增加体系氢离子浓度，提高蚀刻速率，而氟化氢铵作为缓冲剂可确保稳定的氟离子浓度，保证蚀刻速率的稳定。

随着反应的进行，减薄液中HF浓度逐渐降低，而体系中的氟硅酸含量不断增加，氟硅酸浓度增加不仅仅使得体系蚀刻能力下降，同时能造成基板表面蚀刻不匀，导致产品质量下降及蚀刻处理时间增长，从而使得减薄液无法继续使用而造成废液排放。

玻璃减薄废液作为行业危废液体，目前其处理主要采用石灰或石灰石中和处置法。这类方法可以使废液中的F-、SiF62-离子以及PH值等达标排放，但这一过程会产生大量的含CaSO₄、CaF₂的混合固体，这一固体属于危险废物，增加了后续处置的成本(处理费≥2000元/t)，且浪费了废液中大量未反应的HF及其他有用酸原料。

现有技术的缺点：

现有国内外对氢氟酸废液的处理技术有很多，具体归类为以下几种：

专利CN 201610277659.0公开了一种含氟废液中氟的环保分离回收方法，具体为在含氟废液中加入含镁化合物作沉淀剂，使其中的氟选择性沉淀析出，过滤得脱氟后液和氟化镁沉淀物；脱氟后液用于废水回用，氟化镁沉淀物用硫酸分解得氟的系列化合物，分解残余物则通过溶解-结晶处理得硫酸镁晶体，所得硫酸镁晶体返回氟选择性沉淀析出工序循环使用，而硫酸镁的结晶母液则返回溶解-结晶工序或返回氟化镁沉淀物分解工序继续使用。该方法主要通过沉淀、结晶等处理方法，将废液中的氟取出得到氟化学品，但该工艺步骤较为繁琐，处理过程不够经济，同时也浪费了其他酸组分的回收再利用。

专利CN 201410096999.4公开了一种含氟废水的处理方法，具体为采用精馏系统进行回收处理，其废水处理精馏系统包括精馏釜、填料精馏塔、冷凝器和贮液器，其方法为将含氟废水从精馏釜的废液进口通入，同时将吸水溶剂从溶剂进口通入，从出气口采出氟化氢，当填料精馏塔塔顶温度高于氟化氢采出温度时，停止采集；逐步升高精馏釜温度至80～150℃、0.110～0.120MPa，从出气口采出三氟乙酸，当填料精馏塔塔顶温度高于三氟乙酸采出温度时，停止采集。该方法通过蒸馏将废液中的氟取出得到其他氟化学品，但应用过程中使用蒸馏方法，不但能耗大，不够经济，而且高温操作对人员及设备都大大增加了危险性，同时也有浪费了其他酸组分的回收再利用的缺点。