[发明专利]一种反射防止膜及包含该反射防止膜的光学部件

权利要求书

1.一种反射防止膜，反射防止膜设于基材层表面，其特征在于，所述的反射防止膜包括设于基材层表面上的多层膜、设于多层膜外侧的保护膜，所述的多层膜由两层或三层低反射层堆积形成，所述的基材层折射率为1.43以上、1.70以下，所述的多层膜为两层低反射层结构时，所述的两层低反射层中第一低反射层折射率为1.30～1.50且光学膜厚为60～180nm、第二低反射层折射率为1.15～1.23且光学膜厚为60～120nm，所述多层膜为三层低反射层结构时，所述的三层低反射层中第一低反射层折射率为1.30～1.70且光学膜厚为30～170nm、第二低反射层折射率为1.30～1.50且光学膜厚为80～120nm、第三低反射层折射率为1.15～1.23且光学膜厚为80～120nm，所述的反射防止膜的多层膜外侧依次设有两层保护膜，所述的两层保护膜中第一层保护膜的折射率为1.30～2.40且光学膜厚在20nm以下、第二层保护膜的折射率为1.30～1.60且光学膜厚为10～30nm；

所述的第一低反射层的折射率设定为比基材层的折射率小；所述的第一低反射层的折射率大于第二低反射层的折射率；并且，所述的多层膜为三层时，第二低反射层的折射率比第三低反射层的折射率高；

所述的第一层保护膜的折射率高于多层膜最外侧低反射层折射率。

2.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的基材层、多层膜的折射率设定为在He光源的d线下获得，所述的d线波长为587.56nm。

3.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的反射防止膜对于入射角度0度时光线的反射率最大值不超过0.2％、最小值不超过0.1％，所述光线的波长为450nm～600nm的范围内。

4.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的反射防止膜对于入射角度0度时光线的反射率最大值不超过0.2％，所述光线的波长为380nm～780nm的范围内。

5.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的多层膜和保护膜采用折射率不同的两种或三种材料构成，其中折射率为1.30～1.70的膜层采用Si、Mg、Al的单体或它们的混合物组成，折射率为1.15～1.23的膜层采用硅的氧化物的单体或包含其在内的混合物组成。

6.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的多层膜为两层低反射层结构时，所述的两层低反射层中的第二低反射层由包含Si的中空微粒子组成，所述的多层膜为三层低反射层结构时，所述的三层层低反射层中的第三低反射层由包含Si的中空微粒子组成。

7.根据权利要求1所述的反射防止膜，其特征是，所述的多层膜为两层低反射层结构或三层低反射层结构时，所述的第一低反射层由SiO₂、MgF₂、Al₂O₅的单体或者其混合物组成。

8.一种包含权利要求1-7中任一项所述反射防止膜的光学部件，其特征在于，所述的反射防止膜设于光学部件滤光片的双面或单面上。