[发明专利]一种反射防止膜及包含该反射防止膜的光学部件

说明书

本发明公开了一种反射防止膜，反射防止膜设于基材层表面，所述的反射防止膜包括设于基材层表面上的多层膜、设于多层膜外侧的保护膜，所述的多层膜由两层或三层低反射层堆积形成，所述的反射防止膜的多层膜外侧依次设有两层保护膜；以及包含所述反射防止膜的光学部件，所述的反射防止膜设于光学部件滤光片的双面或单面上。本发明对于波长400nm到波长800nm的宽带波长，可以获得具有高性能、反射防止性能的反射防止膜，将反射防止膜用于光学系统时，可以减少重影或耀斑的产生。

技术领域

本发明涉及光学设备技术领域，尤其是涉及一种反射防止膜及包含该反射防止膜的光学部件。

背景技术

光学系统中包含的镜头和光学滤光片等光学元件的大部分使用光学玻璃或光学塑料等透明部材(基板)制作而成，这样的基板在折射率变大时，光入射面和光出射面(光入出射面)的反射率就会变高，使用光入出射面反射率较高的光学元件的话，到达像面的有效光量减少的同时，从光学元件的光入出射面反射的不必要的反射入射到像面会形成重影和耀斑，是使光学系的光学性能下降的原因，因此，在使用基板的光学部件中，在其光入出射面上赋予防止反射的功能。

另外，通过光入出射面反射，到达像面的不必要的重影和耀斑根据对光学元件的光束入射角和光学元件的形状会发生巨大变化，因此，作为添加在基板上的反射防止膜，尽可能在宽的波长区域，并且在各入射角度(CRA)上，能够获得良好的反射防止效果；作为添加在基板的光入出射面上的反射防止膜，以通过镀膜在基板的光入出射面上形成由薄膜的电介质膜复数层堆积起来的多层反射防止膜被知晓；一般来说，反射防止膜有更多层堆积，并且反射防止的效果更大，防止反射的波长带也变宽了。

另一方面，作为在蒸镀膜中使用的材料，例如将比折射率1.38的MgF2更低的折射率材料作为反射防止膜的最表层(最靠近空气层一侧)使用的话，则可以容易地获得高性能反射防止功能；除此之外，作为折射率低的材料，已知有在使用的有Si、Mg等无机材料、Si树脂和非晶质的F树脂等有机材料，这些材料通过在层内形成空隙，可以降低折射率；例如，反射防止膜上将波长400nm～波长700nm范围内的折射率降低到1.3为止的氟类树脂有被提出，在波长为400nm～波长700nm的范围内，将折射率降低到1.2左右的氟化镁膜作为最上层的9层结构的反射防止膜也被提出过。

在一些使用蒸镀的多层膜中，在波长400nm～波长730nm的宽带波长范围内降低反射率，要获得良好的反射防止功能，需要大量的膜层数量，如果膜层的数量变多，则以严格的倾斜角度入射时，可视域波纹、波长移位影响较大，在宽带波长范围内获得良好的反射效果将变得困难。已知在波长400nm～波长730nm的宽带波长范围内降低反射率，并获得良好的反射防止功能，在最表层配置低折射率材料(C 0024)，低折射率材料的配置，虽然用Sol-Gel法制造是有效的，但前项制法的话由于膜结构非常脆弱，因此很难在照相机组装时进行必要的擦拭工作等。

发明内容

本发明是为了上述问题，提供一种在宽带波长范围中具有良好的反射防止性能，并且提供具有良好膜强度的反射防止膜，及包含该反射防止膜的光学部件和系统。