[发明专利]一种防污染片式组合挡板在审
| 申请号： | 201910018497.2 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109852942A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;王德苗;金浩;顾为民;顾骏 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;俞翠华 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 拼接件 搭接结构 片式 一片式 水平方向设置 挡板 拼接组件 组合挡板 防污染 镀膜腔体 整片式 形变 镀膜 竖直 制备 过量 统一 | ||
1.一种防污染片式组合挡板，其特征在于，包括N个片式拼接件，各片式拼接件均包括平板，所述平板上位于第一方向的两个侧部均设有第一搭接结构；所述平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构，所述第二方向与第一方向为垂直关系；
其中，M个片式拼接件沿水平方向顺次设置，前一个片式拼接件的第二搭接结构与后一个片式拼接件的第三搭接结构相配合，实现连接；
各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件，所述拼接组件包括L个沿竖直方向上顺次设置的片式拼接件，上一个片式拼接件端部的第一搭接结构与下一个片式拼接件端部的第一搭接结构相配合，实现连接；
所述L、M和N满足下列公式：
(2L+1)*M＝N。
2.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板两端处的第一搭接结构朝向相对，且所述第一搭接结构为L型，包括第一段和第二段；
所述第一段垂直于所述平板设置，其一端与所述平板相连，另一端与所述第二段的一端相连；
所述第二段平行于平板设置，第二段上远离第一段的一端处于自由状态。
3.根据权利要求2所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述第二搭接结构位于所述平板之外，其包括顺次相连的第三段、第四段和第五段；
所述第三段垂直于所述平板设置，其一端与所述平板相连；
所述第四段平行于所述平板设置，其一端与所述第三段的另一端相连；
所述第五段垂直于所述平板设置，其一端与所述第四段的另一端相连，另一端处于自由状态；
所述第三搭接结构包括第六段，所述第六段垂直于所述平板设置，一端与所述平板相连，另一端处于自由状态。
4.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：各第一搭接结构上均设有两个通孔，所述平板上与各第一搭接结构上通孔对应位置处也设有通孔。
5.根据权利要求4所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板上各通孔的中心顺次相连构成的图形为梯形。
6.根据权利要求5所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板上各通孔的中心顺次相连构成的图形为等腰梯形。
7.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板、第一搭接结构、第二搭接结构和第三搭接结构为一体成型。
8.根据权利要求7所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板、第一搭接结构、第二搭接结构和第三搭接结构均由不锈钢或铝合金制成。
9.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板的厚度为0.5mm-5mm。
10.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板，其特征在于：所述平板为正方形结构，其边长为50mm-500mm。
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