[发明专利]一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板

说明书

本发明提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源的待蒸镀区和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小。本发明以实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术，尤其涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板。

背景技术

有机发光显示面板(Organic Light-Emitting Display，简称OLED)具有主动发光、轻薄、视角大、响应速度快、节能、温度耐受范围大、可实现柔性显示和透明显示等优点。有机发光显示面板为平面光源，不需要导光板或扩散板；驱动电压低，散热量较小；有机发光显示面板较容易实现透明和柔性显示，可应用于特殊场合并开拓出新的照明市场，因此被视为下一代最具潜力的新型平板显示技术。

在有机发光显示面板中，由于不同功能层的材料的能级不同，载流子在传输过程中在不同功能层的材料界面存在势垒跳变，这将会导致有机发光显示面板的驱动电压上升。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，以形成包括两种不同材料且两种不同材料呈梯度变化的混合层，从而实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：

第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；

第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；

其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；

所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。

可选地，所述第一蒸发线源还包括第一坩埚、第一角度板和第二角度板；所述第一坩埚用于放置所述第一材料；所述第一角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴远离所述第二蒸发线源的一侧；所述第二角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴邻近所述第二蒸发线源的一侧；

所述第一角度板的一端与所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第二角度板的一端和所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角；

所述第二蒸发线源还包括第二坩埚、第三角度板和第四角度板；所述第二坩埚用于放置所述第二材料；所述第三角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴远离所述第一蒸发线源的一侧；所述第四角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴邻近所述第一蒸发线源的一侧；

所述第三角度板的一端与所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第四角度板的一端和所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角。

可选地，所述第一材料为空穴传输材料，所述第二材料为空穴注入材料。

可选地，所述预设值的取值范围为20cm-100cm。