[发明专利]一种线激光层析检测系统在审
申请号: | 201910024366.5 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN111426689A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 周玉兰;王瑞;陈超;万楚豪;杨秋松;王锐;郑增超 | 申请(专利权)人: | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95 |
代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 层析 检测 系统 | ||
1.一种线激光层析检测系统,其特征在于,所述检测系统包括:
激光发生装置,所述激光发生装置发射出脉冲可见点激光;
激光传导系统,所述激光传导系统位于所述激光发生装置的输出端,将所述激光发生装置发射出的点激光转换为线激光,再经激光扫描系统将所述线激光按照第一角度入射至待检测物体表面后产生漫反射,并按照第二角度将漫反射的线激光进行成像;
激光扫描系统,所述激光扫描系统位于激光传导系统之中,对所述点激光所转换的线激光进行扫描,使得其入射至待检测物体表面不同位置处;
激光控制系统,所述激光控制系统位于所述激光传导系统的输出端,对所述激光传导系统输出的光信号进行通断控制;
激光探测系统,所述激光探测系统位于所述激光控制系统的输出端,接收所述待检测物体漫反射的线激光,由线激光在探测器上的位置可以推算出所述待检测物体的缺陷信息,实现对所述待检测物体的缺陷检测。
2.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述激光传导系统包括:
柱透镜,所述柱透镜位于所述激光发生装置的输出端,将所述点激光转换为线激光并输出;
待检测物体,所述待检测物体位于所述激光扫描系统的输出端,接收所述激光扫描系统出射的线激光并进行漫反射;
球透镜,所述球透镜位于所述待检测物体的输出端,接收所述待检测物体漫反射的线激光,并将所述待检测物体漫反射的线激光成像至所述激光探测系统。
3.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述激光扫描系统位于激光传导系统之中,即位于所述柱透镜的输出端。
4.如权利要求3所述的检测系统,其特征在于,所述激光扫描系统包括激光扫描器,所述激光扫描器使得激光入射至待检测物体表面不同位置处。
5.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述激光控制系统包括快门,所述快门通过开关控制所述待检测物体漫反射的线激光的通断。
6.如权利要求5所述的检测系统,其特征在于,所述快门时间最长不超过亚纳秒量级。
7.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述激光探测系统包括探测器,所述探测器接收所述待检测物体漫反射的线激光,由线激光在探测器上的位置可以推算出所述待检测物体的缺陷信息,实现对所述待检测物体的缺陷检测。
8.如权利要求7所述的检测系统,其特征在于,所述探测器的像元小于所述待检测物体缺陷的最小尺寸,像元尺寸越小,测量精度越高。
9.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述第一角度为非直角角度,所述第二角度为非直角角度。
10.如权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述第一角度为直角,所述第二角度为非直角角度。
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