[发明专利]掩膜板异物清除装置

权利要求书

1.一种掩膜板异物清除装置，其特征在于，包括气体循环系统(1)及静电除尘机构(2)；

所述气体循环系统(1)包括密闭腔体(10)及设置在密闭腔体(10)外侧的吹气管道和吸气管道；所述密闭腔体(10)的两相对侧面上分别设有吹气孔(11)及吸气孔(12)，所述吹气管道和吸气管道分别与吹气孔(11)和吸气孔(12)连接；

所述密闭腔体(10)一侧设有供掩膜板(9)进出密闭腔体(10)内部的入口及对入口进行封闭的挡板(15)；

所述静电除尘机构(2)设置在所述密闭腔体(10)的入口外侧以在掩膜板(9)进入所述密闭腔体(10)内部之前对该掩膜板(9)进行静电除尘处理。

2.如权利要求1所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述静电除尘机构(2)包括相对设置的分别对掩膜板(9)的上表面和下表面进行静电除尘处理的上静电除尘单元(21)及下静电除尘单元(22)。

3.如权利要求2所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述上静电除尘单元(21)和下静电除尘单元(22)均为静电棒。

4.如权利要求2所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述上静电除尘单元(21)和下静电除尘单元(22)均为离子风枪。

5.如权利要求1所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述吹气管道通过所述吹气孔(11)向所述密闭腔体(10)内部吹入压缩空气、氮气或离子气体。

6.如权利要求1所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，还包括位于所述密闭腔体(10)内部远离入口一侧顶部的以感测掩膜板(9)存在的位置传感器(4)。

7.如权利要求6所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，还包括与所述位置传感器(4)、气体循环系统(1)、静电除尘机构(2)及挡板(15)均电性连接的控制器；

其中，当掩膜板(9)从外侧向所述密闭腔体(10)内部进入时，所述控制器控制所述密闭腔体(10)入口处的挡板打开，同时控制开启所述静电除尘机构(2)对掩膜板(9)进行静电除尘处理，当位置传感器(4)感测到掩膜板(9)完全进入所述密闭腔体(10)内部时，所述位置传感器(4)向控制器发出掩膜板进入信号，所述控制器接收到该掩膜板进入信号后控制所述密闭腔体(10)入口处的挡板关闭，并控制开启吹气管道和吸气管道在密闭腔体(10)形成气流以对掩膜板(9)做进一步清洁处理。

8.如权利要求1所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，还包括设于所述密闭腔体(10)内部的用于承载掩膜板(9)的承载机构(3)。

9.如权利要求8所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述承载机构(3)包括多个沿掩膜板(9)从入口进入密闭腔体(10)内部的方向并列设置的承载杆(31)；

每一承载杆(31)包括传输杆(32)及多个间隔套设在传输杆(32)上的传输滚轮(33)。

10.如权利要求1所述的掩膜板异物清除装置，其特征在于，所述吹气孔(11)和吸气孔(12)分别设置在所述密闭腔体(10)的相对的且均与掩膜板(9)从入口进入密闭腔体(10)内部的方向平行的两侧面上。