[发明专利]光学测量装置以及光学测量方法

权利要求书

1.一种光学测量装置，包括：

光源，发出光；

光学系统，将经对象物反射的反射光聚光；

光接收部，构成为多个像素各自能检测光接收量，且针对所聚光的所述反射光而获得每个所述像素的光接收量分布信号；

测量部，基于所述光接收量分布信号而测量所述光学测量装置到所述对象物的距离；

修正部，基于所述光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的所述距离，其中，所述光接收量分布信号的波形的横轴为所述像素，所述光接收量分布信号的波形的纵轴为所述光接收量，所述规定特性值为半高宽，所述半高宽是表示峰值光接收量的50％的光接收量的线、与所述光接收量分布信号的两个交点的长度的值；

存储部，存储所述规定特性值与所测量的所述距离的误差的相关关系；以及

获取部，从所述光接收量分布信号的波形中获取所述规定特性值，

其中，所述修正部基于所述相关关系及所获取的所述规定特性值，求出所测量的所述距离的误差，并从所测量的所述距离中减去所述误差，

所述相关关系是由将所述规定特性值设为独立变量，将所测量的所述距离的误差设为从属变量的数学公式来表示。

2.根据权利要求1所述的光学测量装置，还包括：操作部，用于输入所述相关关系的信息。

3.根据权利要求1所述的光学测量装置，其中所述光学系统包含用于将所述反射光聚光的单一的聚光透镜。

4.根据权利要求1所述的光学测量装置，其中所述光包含多个波长成分，

所述光学系统使所述光产生沿着光轴方向的色差，将产生了色差的光照射于所述对象物，

所述光接收部构成为针对每个所述波长成分能检测光接收量。

5.一种光学测量方法，是光学测量装置所使用，包括：

光源发出光的步骤；

光学系统将经对象物反射的反射光聚光的步骤；

光接收部针对所聚光的所述反射光而获得每个像素的光接收量分布信号，且所述光接收部构成为多个所述像素分别能检测光接收量的步骤；

测量部基于所述光接收量分布信号而测量所述光学测量装置到所述对象物的距离的步骤；

修正部基于所述光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的所述距离的步骤，其中，所述光接收量分布信号的波形的横轴为所述像素，所述光接收量分布信号的波形的纵轴为所述光接收量，所述规定特性值为半高宽，所述半高宽是表示峰值光接收量的50％的光接收量的线、与所述光接收量分布信号的两个交点的长度的值；

存储部存储所述规定特性值与所测量的所述距离的误差的相关关系的步骤；以及

获取部从所述光接收量分布信号的波形中获取所述规定特性值的步骤，

在修正的步骤中，所述修正部基于所述相关关系及所述获取的规定特性值而求出所测量的所述距离的误差，且所述修正部从所测量的所述距离中减去所述误差，

所述相关关系是由将所述规定特性值设为独立变量，且将所测量的所述距离的误差设为从属变量的数学公式来表示。

6.根据权利要求5所述的光学测量方法，还包括：将所述相关关系的信息输入至操作部的步骤。

7.根据权利要求5所述的光学测量方法，其中所述光学系统包含用于将所述反射光聚光的单一的聚光透镜。

8.根据权利要求5所述的光学测量方法，其中所述光包含多个波长成分，

所述光学测量方法还包括：所述光学系统使所述光产生沿着光轴方向的色差，所述光学系统将产生了色差的光照射于所述对象物的步骤，

所述光接收部构成为针对每个所述波长成分能检测光接收量。