[发明专利]光学测量装置以及光学测量方法

说明书

本发明提供一种能够减小所测量的距离的误差的光学测量装置以及光学测量方法。光学测量装置(100)包括：光源(10)，发出光；传感头(30)，将经对象物(TA)反射的反射光聚光；光接收部(40)，构成为多个像素各自可检测光接收量，且针对所聚光的反射光而获得每个像素的光接收量分布信号；测量部(51)，基于光接收量分布信号而测量光学测量装置(100)到对象物(TA)的距离；以及修正部(52)，基于光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的测量距离。

技术领域

本发明涉及一种光学测量装置以及光学测量方法。

背景技术

以前，作为光学式测量装置的测量误差修正装置，已知包括下述部件的测量误差修正装置：结构分析位移推定部件，使用结构体的结构分析模型实施结构分析，推定测量对象位置相对于结构体的基准位置的位移即结构分析位移；以及误差修正部件，基于光学式位移测量装置的测量结果及所推定的结构分析位移，修正光学式位移测量的误差(参照专利文献1)。此测量误差修正装置能够对非恒常性的强扰乱进行测量，并且能够防止装置总体的复杂化且修正光学式测量装置的测量误差。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-122428号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

另一方面，下述光学测量装置已为人所知，即：针对由透镜等光学系统所聚光的光而获得每个像素的光接收量分布信号，基于光接收量分布信号而测量装置到对象物的距离。

但是，此光学测量装置有时因光学系统的像差等而光接收量分布信号产生变形。因此，若基于此光接收量分布信号来测量距离，则所测量的距离与真值之差(以下称为“误差”)变大。

因此，本发明的目的在于提供一种能够减小所测量的距离的误差的光学测量装置以及光学测量方法。

[解决问题的技术手段]

本发明的一实施例的光学测量装置是包括下述部分的光学测量装置：光源，发出光；光学系统，将经对象物所反射的反射光聚光；光接收部，构成为多个像素各自可检测光接收量，且针对所聚光的反射光而获得每个像素的光接收量分布信号；测量部，基于光接收量分布信号而测量光学测量装置到对象物的距离；以及修正部，基于光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的距离。

根据所述实施例，基于光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的距离。此处，本发明的发明人发现，光接收量分布信号的波形中的规定特性值、与所测量的距离的误差之间存在相关关系。因此，通过利用此相关关系，可基于光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的距离。因此，即便光接收量分布信号产生了变形时，也能够减小所测量的距离的误差。

所述实施例中也可还包括：存储部，存储规定特性值与所测量的距离的误差的相关关系；及获取部，从光接收量分布信号的波形中获取规定特性值，修正部基于相关关系及所获取的规定特性值，求出所测量的距离的误差，并从所测量的距离中减去所述误差。

根据所述实施例，基于相关关系及所获取的规定特性值而求出所测量的距离的误差，并从所测量的距离中减去所述误差。由此，能够简易地修正所测量的距离，从而能够容易地实现减小所测量的距离的误差的光学测量装置。

所述实施例中，相关关系也可由将规定特性值设为独立变量，将所测量的距离的误差设为从属变量的数学公式来表示。

根据所述实施例，相关关系是由将规定特性值设为独立变量，将所测量的距离的误差设为从属变量的数学公式来表示。由此，与以表(table)形式表现相关关系的情况相比，能够削减存储部的存储容量。

所述实施例中也可还包括：操作部，用于输入相关关系的信息。