[发明专利]一种硅片进出料归正结构及其归正方法

说明书

本发明公开了一种硅片进出料归正结构及其归正方法，通过在多条副传动轴上分别设置多组归正结构，且归正结构由宽变窄与多条副传动轴形成传动轴组合的一套归正装置，通过副传动轴旋转，放置在其上面的硅片被带动往前做直线运动，如果硅片不在归正区中间或歪斜，在碰到越来越窄的归正区归正挡轮，即可被及时调整歪斜状态。如果需要进行更大尺寸硅片切换，只需要松掉锁定螺母，然后将归正挡轮旋至所需要的位置即可，而不需要将整根副传动轴进行更换。

技术领域

本发明涉及一种进出料口归正装置，在不更换整个归正装置的前提下能快速切换不同尺寸硅片所需要的归正挡边位置，属于一种半导体及太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其是链式清洗设备和湿法处理设备。

背景技术

在清洗行业,尤其是链式湿法处理行业中，往往在主设备进出口设有硅片归正装置，以达到硅片在进入设备时不发生歪斜，目前基本上均采用固定式结构，由于硅片原料生产技术的革新，硅片正在向大尺寸方向发展，如传统125见方的硅片逐渐被市场淘汰，目前主流为156见方的硅片，不久的将来还会有166见方的硅片。当供料硅片尺寸时，传统归正装置需要整体更换方能适用。切换成本较高，且改动较大。

发明内容

本发明要解决的问题是传统硅片进出料口归正装置不能适用于多种尺寸硅片的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是提供了一种硅片进出料归正结构，包括底板，所述底板上设有主传动轴，所述主传动轴通过轴承支撑座固定在底板上，所述主传动轴上安装有多个主传动齿轮，所述主传动齿轮分别与主传动轴的一侧固定在底板上的多个副传动齿轮啮合，所述多个副传动齿轮分别连接多条副传动轴，所述多条副传动轴并列排列，所述并列的多条副传动轴上分别并列设有用于归正硅片的归正结构，所述并列设置的多个归正结构在同一中线上，所述并列的归正结构尺寸按照箭头A所示的硅片运动方向，在多个副传动轴上形成一套纵向排列且归正结构的尺寸由下至上逐渐变窄的归正装置；通过该归正装置，使硅片在按箭头A所示的由下至上运动时，通过逐渐变窄的归正结构的尺寸来调整不在归正装置中间或歪斜的硅片。

优选地，所述多条副传动轴上并列设有多套归正装置，可以同时进行硅片的归正调整，提高效率。

优选地，所述归正结构包括一对设置在副传动轴上的归正挡轮，所述归正挡轮一端的边缘设有凸起状的挡片，且该对挡片相对设置，所述硅片用于放置在该对归正挡轮之间，所述硅片的边缘被挡片所限制。

优选地，所述归正挡轮另一端上设有用于锁定归正挡轮的锁定螺母，用于限制归正挡轮的移位。

优选地，所述每条副传动轴上的多组归正结构之间设有限位槽。

优选地，所述限位槽内设有限位挡圈，用于运行时相邻的归正结构之间的阻隔和减震。

优选地，所述锁定螺母、归正挡轮与副传动轴通过螺纹连接，用于根据硅片的尺寸，调整每对归正挡轮上挡片之间的距离，且锁定螺母通过螺纹锁定调整后的归正挡轮。

优选地，所述锁定螺母与副传动轴之间设有定位槽，并通过设置在定位槽内的侧挡圈密封。

本发明还提供了一种硅片进出料归正方法，步骤如下：

S1：将硅片放入该归正装置中：

S2：通过电机驱动主传动轴旋转带动主传动齿轮与副传动齿轮啮合运动，从而间接带动副传动轴旋转，使副传动轴上的归正挡轮带动硅片按照箭头A所示的运动方向往前做直线运动；

如果硅片不在归正装置的中间或歪斜，被传动向前的硅片的边缘在碰到逐渐变窄的归正结构上的归正挡轮时，即可被及时调整歪斜状态。