[发明专利]挠性机构

说明书

本发明公开了一种挠性机构，包含有：一基座；一平台，与该基座相隔开来；以及多数挠性单元，桥设于该基座与该平台之间，而分别具有一固定于该基座上的第一身部，一与该平台相接的第二身部与该第一身部相隔开来，一第三身部以一第一挠部及一第二挠部各自与该第一身部及该第二身部连接，其中，该第一挠部与该第二挠部具有不同的维度上的弹性。

技术领域

本发明与运动平台有关，特别是关于一种挠性机构。

背景技术

随着半导体纳米尺寸技术的发展，具备高精度与高响应速度的设备，已成为半导体设备厂商持续技术研发之标的，而其中，被广泛作为检测设备构成单元的运动平台，虽可提供高速的运动速度，但因惯性作用，运动中的物品实难以在极短时间内停止在精确位置上，且一般来说，物品的运动速度越高，完全停止前的晃动的程度亦越大，相对所需的整定时间亦越长，不易快速定位于精确的位置上。

已知技术为消除运动物品因惯性所致的整定不易，遂揭露有以挠性机构对位移后所产生的运动误差提供补偿，期以降低整定的时间并提高精度，是现有技术固可对运动物品提供运动位置误差的补偿，惟为确保挠性机构的自身精度，已知的挠性机构乃使其用以提供挠性的各个构成部位，均是一体成型者，使得已知的挠性机构在制造上的难度增加，且在遇有局部挠性够成的弹性疲乏，而需进行维修时，已知的挠性机构为一体成型者，故仅能将整个机构予以拆除更换，徒使资源未能有效利用。

发明内容

因此，本发明的主要目的即在提供一种挠性机构，其由可分离若干个独立挠性单元所构成，而可便于制造、组装加工及维修。

缘是，为达成上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种挠性机构，包含有：

一基座；

一平台，与该基座相隔开来；以及

多数挠性单元，桥设于该基座与该平台之间，而分别具有一固定于该基座上的第一身部，一与该平台相接的第二身部与该第一身部相隔开来，一第三身部以一第一挠部及一第二挠部各自与该第一身部及该第二身部连接，其中，该第一挠部与该第二挠部具有不同的维度上的弹性。

各该第二身部分别具有一弧状块体以及一凹设于该弧状块体凹弧侧的沟槽，以使得各该第二身部的沟槽彼此依序串联呈圆环状。

该平台具有一介于各该第二身部间的台身，一圆环状的卡榫突设于该台身上并嵌接于该些串接呈圆环状的沟槽中。

该卡榫内外侧环面的形状及该些沟槽两侧槽壁的形状呈相同的推拔状。

该第三身部具有一开口，该第一挠部位于该第三身部的开口中；

该第一挠部具有一第一结合件、一第一可挠件及二第二可挠件，该第一可挠件桥接于该第一结合件与该第二身部间，而各该第二可挠件分别桥接于该第三身部开口的内侧壁面与该第一结合件间。

该挠性单元所包含的第三身部的数量为二，以及使该第一挠部的数量为二，并使各该第一挠部以提供不同维度弹性的方式分设于各该第三身部的开口中。

该第一身部具有一开口，该第二挠部位于该第一身部的开口中；

该第二挠部具有一第二结合件、一第三可挠件及二第四可挠件，该第三可挠件桥接于该第二结合件与该第三身部的外侧壁面间，而各该第四可挠件分别桥接于该第一身部开口的内侧壁面与该第二结合件间。

该第一身部所具有的开口的数量为二，以及使该第二挠部的数量为二，并使各该第二挠部以提供不同维度弹性的方式分设于各该第一身部的开口中。

所述的挠性机构更包括一驱动单元，设于该平台与该基座之间，用以驱动该平台。

该驱动单元包括有一编码器及多数线性马达。