[发明专利]一种IC载板激光钻孔的方法在审
申请号: | 201910035961.9 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN109719404A | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
发明(设计)人: | 苏化友;郑晓蓉 | 申请(专利权)人: | 广东科翔电子科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;H01L21/48 |
代理公司: | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人: | 陈文福;陈惠珠 |
地址: | 516000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光钻孔 激光钻孔方式 机械钻孔 酸性蚀刻 钻孔效率 单面板 沉金 沉铜 断刀 防焊 干膜 开料 孔位 棕化 成型 测试 替代 | ||
1.一种IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,包括以下具体步骤:
S1. 开料:选取双面覆铜板板材;
S2. 单面减铜:采用2pnl板叠在一起的方式,过微蚀线减铜,减铜后叠在一起的一面铜厚不变定义为A面,减铜的一面为B面,并做好面别标记,保持每片板的放置方向一致;
S3. 棕化:过棕化线,在铜面过上一层棕化膜;
S4. 激光钻孔:采用激光钻孔机,从B面钻孔,设置好激光能量,钻孔完成后使孔径能够达到0.075mm-0.0125mm,且钻透介质层,孔底部无残胶;
S5. 沉铜:在激光钻孔后的孔壁通过化学沉积的方式沉铜;以便于电镀铜导通;
S6. 板电:采用A面靠A面的方式叠在一起,只镀B面,使两面铜厚保持一致;
S7. 干膜、酸性蚀刻;
S8. AOI、防焊;
S9. 沉金;
S10. 后期处理。
2.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S1之前,还包括制作激光钻孔资料。
3.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S1中,双面覆铜板板材的尺寸为:板厚0.1mm-0.5mm,铜厚10-25μm。
4.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S2中,减铜的一面的铜厚为4-10μm。
5.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S6中,板电后B面的铜厚电镀至10-25μm。
6.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S10中,后期处理包括依次设置的成型、测试、FQC、FQA、包装工艺。
7.根据权利要求1所述的IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,所述步骤S4中,激光钻孔的参数为频率为140-170Hz,脉冲宽度为3-20μs,激光能量为2-26mJ,脉冲次数为1-8。
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