[发明专利]一种IC载板激光钻孔的方法在审
申请号: | 201910035961.9 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN109719404A | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
发明(设计)人: | 苏化友;郑晓蓉 | 申请(专利权)人: | 广东科翔电子科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;H01L21/48 |
代理公司: | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人: | 陈文福;陈惠珠 |
地址: | 516000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 激光钻孔 激光钻孔方式 机械钻孔 酸性蚀刻 钻孔效率 单面板 沉金 沉铜 断刀 防焊 干膜 开料 孔位 棕化 成型 测试 替代 | ||
本发明提供一种IC载板激光钻孔的方法,包括以下具体步骤:开料→单面减铜→棕化→激光钻孔→沉铜→单面板电→干膜→酸性蚀刻→AOI→防焊→沉金→成型→测试→FQC→FQA→包装。本发明采用激光钻孔方式替代机械钻孔工艺,孔位精度更高,钻孔效率提升60%以上,激光钻孔无需钻咀,故不存在断刀率。
技术领域
本发明属于IC载板加工技术领域,具体涉及一种IC载板激光钻孔的方法。
背景技术
IC封装基板或称IC载板,主要是作为IC载体,并提供芯片与PCB之间的讯号互联,散热通道,芯片保护。是封装中的关键部件,占封装工艺成本的35-55%。IC基板工艺的基本材料包括铜箔,树脂基板、干膜(固态光阻剂)、湿膜(液态光阻剂)、及金属材料(铜、镍、金盐)等,工艺与PCB相似,但其布线密度线宽线距、层间对位精度及材料的靠性均比PCB高。
IC载板是由不同厚度的材料堆叠而成,有导电材料和非导电材料;过孔,用于连接不同层信号的孔。结构包含ViaHole(钻孔)、ViaLand(孔环)、HoleWall(孔壁)、HoleCap(钻孔封帽)、PluggingInk(塞孔油墨)等;表面处理(SurfaceTreatment),EG(电镀金)、Nithickness(镍层厚度)、Authickness(金层厚度)等。
现有技术中,对于板厚为0.1-0.2mm的IC载板,其导通孔的规格一般为0.1mm、0.15mm、0.2mm几种,当前采用机械钻孔工艺,工艺流程:开料→钻孔→沉铜→板电→干膜→酸性蚀刻→AOI→防焊→表面处理→成型→测试→FQC→FQA→包装,主要存在问题如下:
1、通孔0.1mm、0.15mm、0.2mm的孔机械钻孔时采用的钻咀直径分别为0.15mm、0.2mm、0.25mm,当钻咀达到0.2mm及以下直径时,钻孔加工过程中容易断刀;
2、由于IC载板设计的特性,导通孔比较多,每张生产板少则数万孔,多则数十万孔,机械钻孔时效很慢;
3、鉴于以上问题,导致IC载板的生产成本高。
发明内容
有鉴于此,为了改善以上存在的问题,本发明提供,本发明采用激光钻孔方式替代机械钻孔工艺,孔位精度更高,钻孔效率提升60%以上,激光钻孔无需钻咀,故不存在断刀率。
本发明的技术方案为:一种IC载板激光钻孔的方法,其特征在于,包括以下具体步骤:
S1. 开料:选取双面覆铜板板材;
S2. 单面减铜:采用2pnl板叠在一起的方式,过微蚀线减铜,减铜后叠在一起的一面铜厚不变定义为A面,减铜的一面为B面,并做好面别标记,保持每片板的放置方向一致;
S3. 棕化:过棕化线,在铜面过上一层棕化膜;在激光钻孔时铜面不会反光;
S4. 激光钻孔:采用激光钻孔机,调取制作好的激光钻孔资料,从B面钻孔,设置好激光能量,钻孔完成后使孔径能够达到0.075mm-0.0125mm,且钻透介质层,孔底部无残胶;
S5. 沉铜:在激光钻孔后的孔壁通过化学沉积的方式沉铜;以便于电镀铜导通;
S6. 板电:采用A面靠A面的方式叠在一起,只镀B面,使两面铜厚保持一致;
S7. 干膜、酸性蚀刻;
S8.AOI、防焊;
S9. 沉金;
S10. 后期处理。
进一步的,所述步骤S1之前,还包括制作激光钻孔资料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科翔电子科技有限公司,未经广东科翔电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910035961.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。