[发明专利]钢管连续式溅射镀膜机在审
| 申请号： | 201910038136.4 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109576660A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王峥;龙睿芬;薛道荣 | 申请（专利权）人： | 北京奥普科星技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 白明珠 |
| 地址： | 102300 北京市门头沟*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第一腔室 传动组件 运输小车 啮合 溅射镀膜机 第二腔室 输送系统 真空泵组 连续式 回程 齿轮 齿条 钢管 行程开关机构 靶材利用率 膜层均匀性 镀膜效率 行驶导轨 成膜 首尾 后门 连通 前门 室内 | ||
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。
2.根据权利要求1所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8），其中，所述前门阀（13）设于所述第一过渡腔室（2）前端，所述后门阀（14）设于所述第二过渡腔室（8）后端。
3.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述真空泵组（15）分别与所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）相连接。
4.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）的底部。
5.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一保温腔室（4）和第二保温腔室（6）内分别设有铠装加热组件。
6.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔室（5）的腔体顶面设有若干磁控靶。
7.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，第一保温腔室（4）和镀膜腔室（5）之间以及镀膜腔室（5）和第二保温腔室（6）之间通过法兰连接。
8.根据权利要求2-7任一项所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）底端分别设有腔室支架（1）。
9.根据权利要求8所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述腔室支架（1）底端设有支撑件（16）。
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