[发明专利]钢管连续式溅射镀膜机

说明书

本发明公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本发明有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体来说，涉及一种钢管连续式溅射镀膜机。

背景技术

目前的金属管镀膜机是单腔室镀膜机，其中，单腔室式镀膜机，每次进出料腔室需要暴露大气，造成膜层质量不稳定、抽真空时间长，产能低，且很难兼容多种规格的金属管，尤其是不同长度的金属管，而且受靶的限制，很难给长度超过4m的管子镀膜，靶材利用率也不高。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中的上述技术问题，本发明提出一种钢管连续式溅射镀膜机，不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。

为实现上述技术目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。

进一步地，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、镀膜腔室、第二保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室，其中，所述前门阀设于所述第一过渡腔室前端，所述后门阀设于所述第二过渡腔室后端。

进一步地，所述真空泵组分别与所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室相连接。

进一步地，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室的底部。

进一步地，所述第一保温腔室和第二保温腔室内分别设有铠装加热组件。

进一步地，所述镀膜腔室的腔体顶面设有若干磁控靶。

进一步地，第一保温腔室和镀膜腔室之间以及镀膜腔室和第二保温腔室之间通过法兰连接。

进一步地，所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、镀膜腔室、第二保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室底端分别设有腔室支架。

进一步地，所述腔室支架底端设有支撑件。

本发明的有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明实施例所述的钢管连续式溅射镀膜机的示意图之一；

图2是根据本发明实施例所述的钢管连续式溅射镀膜机的示意图之二；