[发明专利]光罩清洗系统及其方法

权利要求书

1.一种光罩清洗方法，其特征在于，包含：

打开一舱(pod)，该舱中具有一光罩；

通过一端效器(end effector)夹持该光罩；

将该端效器从已打开的该舱移动至一气体出口所朝向的一目的地；

使一气体自该气体出口朝向经夹持的该光罩排出；以及

当该端效器在该气体出口所朝向的该目的地时，使该端效器相对于一水平面旋转。

2.根据权利要求1所述的光罩清洗方法，其特征在于，旋转该端效器是在排出该气体期间执行。

3.根据权利要求1所述的光罩清洗方法，其特征在于，还包含：

使该气体出口相对于该水平面旋转。

4.根据权利要求1所述的光罩清洗方法，其特征在于，排出该气体包含：

经由一气体接线将该气体自一气源提供至该气体出口；

以一切换频率来切换该气体接线中的一开/关阀；以及

变化该开/关阀的该切换频率。

5.根据权利要求1所述的光罩清洗方法，其特征在于，还包含：

变化自该气体出口排出的该气体的一流动速率。

6.一种光罩清洗方法，其特征在于，包含：

打开一舱，该舱中具有一光罩；

将该光罩从已打开的该舱移动至一气体出口所朝向的一目的地；

将一气体自一气源提供至该气体出口；以及

以一随时间变化的频率来切换连接在该气源与该气体出口之间的一开/关阀。

7.根据权利要求6所述的光罩清洗方法，其特征在于，还包含：

在打开该舱之前，自动地侦测该光罩上的微粒的位置。

8.根据权利要求6所述的光罩清洗方法，其特征在于，还包含：

当该光罩在该气体出口所朝向的该目的地时，使该光罩相对于一水平面自动地旋转。

9.一种光罩清洗系统，其特征在于，包含：

一自动开舱器；

一机械臂，其具有一足以将一光罩自该自动开舱器转移至一目的地的运动范围；以及

一清洗元件，其包含：

朝向该目的地的一气体出口；

一气源；

连接该气源及该气体出口的一气体接线；以及

在该气体接线中的一流动速率控制阀，其中该流动速率控制阀经配置以控制一气体以一周期性变化的流动速率自该气源流动至该气体出口。

10.根据权利要求9所述的光罩清洗系统，其特征在于，该流动速率控制阀经配置以控制该气体的该周期性变化的流动速率从而具有一实质上正弦波的波形。