[发明专利]基板翻转装置

权利要求书

1.一种基板翻转装置，使基板翻转，其特征在于，

所述基板翻转装置具备：

第一吸附部；

第二吸附部；

翻转机构，在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周；以及

输送机构，选择性移送所述第一吸附部以及所述第二吸附部中的在所述翻转机构中被定位于移送位置的吸附部。

2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述翻转机构具备：

导轨，使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周；以及

引导板，被所述导轨引导并与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接，

所述导轨经由所述引导板与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接，

在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下，所述导轨成为圆形，所述引导板沿着所述导轨能够旋转。

3.根据权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述翻转机构还具备对所述导轨进行支承的支承板，

所述引导板经由所述导轨与所述支承板连接，

所述输送机构与所述支承板连结。

4.根据权利要求3所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述导轨、所述引导板以及所述支承板分别被分割成两部分，

分割成两部分的所述导轨进行组合而成为圆形，并且以使一方的导轨配置于所述移送位置侧的方式分别被分割成两部分的所述支承板支承，

分割成两部分的所述引导板相对于进行组合而成为圆形的所述导轨，以在所述移送位置与远离所述移送位置的位置之间相互能够旋转的方式组合，

所述第一吸附部与所述第二吸附部分别与分割成两部分的所述引导板连接，

所述输送机构仅与分割成两部分的所述支承板中的配置于所述移送位置侧的支承板连结，选择性移送位于所述移送位置侧且经由所述导轨以及所述引导板与所述支承板连接的吸附部。

5.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述翻转机构具备：

导轨，与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接；以及

引导板，被所述导轨引导，且使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周，

所述引导板经由所述导轨与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接，

在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下，所述导轨成为圆形，所述引导板沿着所述导轨相对地能够旋转。

6.根据权利要求5所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述翻转机构还具备对所述引导板进行支承的支承板，

所述导轨经由所述引导板与所述支承板连接，

所述输送机构与所述支承板连结。

7.根据权利要求6所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述导轨、所述引导板以及所述支承板分别被分割成两部分，

分割成两部分的所述引导板以一方的引导板配置于所述移送位置侧的方式分别被分割成两部分的所述支承板支承，

分割成两部分的所述导轨进行组合而成为圆形，相对于所述引导板以在所述移送位置与远离所述移送位置的位置之间相互能够旋转的方式组合，

所述第一吸附部与所述第二吸附部分别与分割成两部分的所述导轨连接，

所述输送机构仅与分割成两部分的所述支承板中的配置于所述移送位置侧的支承板连结，选择性移送位于所述移送位置侧且经由所述引导板以及所述导轨与所述支承板连接的吸附部。