[发明专利]基板翻转装置

说明书

本申请提供一种基板翻转装置，能够简化装置的结构且节约空间、进一步高效地进行基板的翻转。使基板(F)翻转的基板翻转装置(1)具备：第一吸附部(110)；第二吸附部(160)；在第一吸附部(110)的吸附面与第二吸附部(160)的吸附面相互对置的状态下使第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)一体地旋转半周的翻转机构(200)；选择性移送第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)中的、在翻转机构(200)中被定位于移送位置(200a)的吸附部(100)的输送机构(300)。

技术领域

本发明涉及一种使基板翻转的基板翻转装置。

背景技术

通常，玻璃基板等由脆性材料构成的母板经由划线工序与断开工序而断开成规定尺寸的基板。在提供给这些工序时，母板适当地进行正反翻转。例如，在贴合两个玻璃基板而构成母板的情况下，在母板的两面形成有刻划线。该情况下，在一方的面上形成有刻划线之后，将母板正反翻转，在另一方的面上形成刻划线。除此之外，也存在将形成有刻划线的母板正反翻转而提供给断开工序的情况。

在以下的专利文献1中，公开了在沿水平方向排列的两个工作台间输送母板时使母板正反翻转的装置。该装置具备将母板沿水平方向输送的输送机构、以及使母板翻转的旋转机构。在输送机构以及旋转机构分别设有吸附板。载置于一方的工作台的母板被旋转机构的吸附板吸附而正反翻转。正反翻转的母板从旋转机构的吸附板向输送机构的吸附板交接。之后，母板被输送机构向另一方的工作台输送并载置于另一方的工作台。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-080336号公报

发明内容

在专利文献1的结构中，在使母板翻转时，在旋转机构使母板移动至规定的位置之后，在该位置处旋转180度。旋转后的母板被输送机构朝向其它的工作台输送并载置。这样，旋转机构以及输送机构独立地移动。因此，需要将用于使基板移动的移动机构分别设于旋转机构以及输送机构。因此，用于输送母板的装置的结构变得复杂，另外，由于设置两个移动机构，因此存在装置整体上大型化这样的问题。另外，由于旋转机构以及输送机构分别移动，因此很难说高效地进行基板的移动以及翻转。

鉴于所述课题，本发明的目的在于，提供一种能够使装置的结构简单化且节约空间化、进一步能够高效地进行基板的翻转的基板翻转装置。

本发明的主要方式涉及一种使基板翻转的基板输送装置。该方式所涉及的基板翻转装置构成为，具备：第一吸附部；第二吸附部；翻转机构，在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周；以及输送机构，选择性移送所述第一吸附部以及所述第二吸附部中的、在所述翻转机构中被定位于移送位置的吸附部。

根据该结构，第一吸附部以及第二吸附部兼用于基板翻转时的基板的交接动作、基板的移送动作，因此能够使基板翻转装置的结构简化。

在本方式所涉及的基板翻转装置中，所述翻转机构能够构成为，具备：导轨，使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周；以及引导板，被所述导轨引导并与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接。所述导轨经由所述引导板与所述第一吸附部以及所述第二吸附部分别连接。在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下，所述导轨成为圆形，所述引导板沿着所述导轨能够旋转。

根据该结构，第一吸附部以及第二吸附部在彼此的吸附面对置的状态下，能够经由引导板沿着导轨旋转。因此，基板能够以夹在第一吸附部的吸附面以及第二吸附部的吸附面之间的状态顺畅地旋转半周。即，与基板的翻转同时地使第一吸附部以及第二吸附部一体地旋转半周，因此调换在第一吸附部以及第二吸附部中位于移送位置的一方。基板被位于移送位置的吸附部吸附，通过输送机构被移送至规定的位置。这样，与进行基板的正反翻转同时地进行用于将基板移送至规定的位置的吸附。因此，能够高效地进行基板的翻转以及朝向规定的位置的移送。