[发明专利]一种等离子体刻蚀装置及其扩散装置在审
| 申请号： | 201910044200.X | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109545645A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 周腾;邱克强;刘正坤;徐向东;洪义麟;付绍军 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐丽;李海建 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放大装置 等离子体刻蚀装置 等离子体扩散 栅栏 等离子体发生器 等离子体区域 等离子体源 扩散装置 密封连接 出口端 进口端 输出端 中空的 出口 进口 | ||
1.一种等离子体扩散装置，其特征在于，包括：
中空的端口放大装置(1)，所述端口放大装置(1)的进口端用于与等离子体源输出端密封连接，所述端口放大装置(1)的进口的面积小于出口的面积；
栅栏(5)，所述栅栏(5)安装在所述端口放大装置(1)的出口端，且与所述出口相对。
2.根据权利要求1所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述端口放大装置(1)的进口与所述等离子体源输出端的端口大小相同，且所述端口放大装置(1)的进口向所述端口放大装置(1)的出口渐扩。
3.根据权利要求1所述的等离子体扩散装置，其特征在于，还包括具有与所述端口放大装置(1)的出口大小相同的第一通孔的挡板(2)，所述挡板(2)与所述端口放大装置(1)的出口端密封可拆卸连接，且所述第一通孔与所述出口相对，所述栅栏(5)安装在所述挡板(2)上。
4.根据权利要求3所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述挡板(2)与所述端口放大装置(1)通过氟橡胶圈(3)密封连接。
5.根据权利要求3所述的等离子体扩散装置，其特征在于，还包括：
安装在所述挡板(2)上的衬板(4)，所述衬板(4)具有与所述第一通孔相对且大小相同的第二通孔；
压板(6)，所述压板(6)与所述衬板(4)相连，所述栅栏(5)可拆卸的安装在所述衬板(4)与所述压板(6)之间。
6.根据权利要求5所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述衬板(4)与所述压板(6)通过紧定螺钉连接。
7.根据权利要求5所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述栅栏(5)通过锁紧螺钉固定在所述衬板(4)与所述压板(6)之间。
8.根据权利要求1-7任一项所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述栅栏(5)为石墨条。
9.根据权利要求8所述的等离子体扩散装置，其特征在于，所述石墨条的两个侧面均为阶梯式结构，且相邻的所述石墨条的侧面能够搭接配合。
10.一种等离子体刻蚀装置，包括等离子体源，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一项所述等离子体扩散装置。
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