[发明专利]一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法

权利要求书

1.一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述系统包括：

振镜扫描模块，用于控制激光束偏转从而在振镜校正板上形成阵列标靶；

所述振镜校正板，用于接受所述激光束的照射从而形成所述阵列标靶；以及

图像采集和处理模块，用于采集并处理所述标靶的图像，从而得到用于振镜校正的振镜补偿文件，实现所述振镜扫描模块内振镜的校正。

2.如权利要求1所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述振镜扫描模块包括：

控制单元，用于所述振镜扫描模块各组件的控制以及加工路径设定；

激光光源，与所述控制单元相连，用于产生激光束，对所述振镜校正板进行标刻处理得到所述阵列标靶；

振镜，与所述控制单元相连，包括X向振镜和Y向振镜，设置于所述激光束的传播路径上，分别用于调整所述激光光束的X方向和Y方向的偏移量；

聚焦镜，设置于所述激光束的传播路径上，用于所述激光束的聚焦。

3.如权利要求2所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述X向振镜和Y向振镜可分别绕各自的转轴转动，且两者的转轴在空间内相互正交。

4.如权利要求1所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述图像采集和处理模块包括：

图像采集单元，与图像处理单元相连，用于采集所述振镜校正板上的阵列标靶图像并传输给所述图像处理单元；

所述图像处理单元，用于接收所述图像处理单元传输的图像数据，并对所述图像数据进行处理得到所述振镜补偿文件。

5.如权利要求4所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述图像采集单元设置于所述振镜扫描模块的工作端，随着所述振镜扫描模块移动，在所述振镜扫描模块进行打标靶的同时进图像采集。

6.如权利要求5所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述图像采集单元为CCD视觉相机。

7.如权利要求1所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述阵列标靶包括矩形阵列、圆形阵列、十字形阵列、三角形阵列。

8.如权利要求4所述的一种激光标刻振镜高精度校正系统，其特征在于，所述图像处理单元通过二次贝赛尔算法校正所述阵列标靶上相邻点的坐标值。

9.一种激光标刻振镜高精度校正方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

调整振镜扫描模块使其坐标系与图像采集和处理模块的坐标系重合；

将振镜校正板设置于所述振镜扫描模块的工作区域，启动所述振镜扫描模块按预设路径加工出阵列标靶；

利用所述图像采集和处理模块对所述阵列标靶进行图像采集，并利用二次贝赛尔算法校正所述阵列标靶各点的坐标得到振镜补偿文件；

将所述振镜补偿文件输入所述振镜扫描模块的控制单元实现对振镜的校正。