[发明专利]一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法

说明书

本发明涉及激光标记技术领域，具体为一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法。所述系统包括：振镜扫描模块，用于控制激光束偏转从而在振镜校正板上形成阵列标靶；所述振镜校正板，用于接受所述激光束的照射从而形成所述阵列标靶；图像采集和处理模块，用于采集并处理所述标靶的图像，从而得到用于振镜校正的振镜补偿文件，实现所述振镜扫描模块内振镜的校正。本发明通过利用振镜扫描模块在振镜校正板上打出阵列标靶，再利用图像采集装置对所述阵列标靶进行图像采集，对所述图像进行处理得到振镜补偿文件，通过所述振镜补偿文件，输入到振镜自带的软件系统实现振镜的校正。本发明实现了振镜的高效校正，无需专业的测量人员及昂贵的测量设备，自动化程度高。

技术领域

本发明涉及激光标刻技术领域，特别是涉及一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法。

背景技术

激光振镜即激光扫描器，简称振镜，由X-Y光学扫描头、电子驱动放大器和光学反射镜头组成，由控制器提供控制信号通过驱动放大电路进而驱动光学扫描头，从而实现光束在X-Y平面上的可控偏转，进而实现激光加工。

在使用振镜进行高精密激光加工的过程中，经常需要对振镜加工精度提出苛刻要求，因此需要对振镜进行精度校正。最初的振镜校正方法是用钢尺或者卡尺作为测量工具，而且只能校准一个固定大小的矩形框，只能保证这个矩形框的精度。现代激光行业，这个做法远不能满足市场需求。此外，还可以通过在校正板上打矩阵标靶，再结合辅助测量设备进行测量，把实际的测量值补偿文件偏差导入到软件中进行校正，这种方法不仅费时，还需要专门的测量人员以及昂贵的辅助测量设备，而且在客户现场不一定具有相应的仪器，虽然校正的精度有所提高，但是效率低。

可见，现有的振镜校正方法自动化程度低，操作不便，需要改进。

发明内容

本发明提供一种激光标刻振镜高精度校正系统，能够解决现有技术振镜校正自动化程度低，操作不便的问题。

本发明是这样实现的，一种激光标刻振镜高精度校正系统，包括：

振镜扫描模块，用于控制激光束偏转从而在振镜校正板上形成阵列标靶；

所述振镜校正板，用于接受所述激光束的照射从而形成所述阵列标靶；以及

图像采集和处理模块，用于采集并处理所述标靶的图像，从而得到用于振镜校正的振镜补偿文件，实现所述振镜扫描模块内振镜的校正。

在本发明另一个实施例中，还提供了一种激光标刻振镜高精度校正方法，所述方法包括以下步骤：

调整振镜扫描模块使其坐标系与图像采集和处理模块的坐标系重合；

将振镜校正板设置于振镜扫描模块的工作区域，启动所述振镜扫描模块按预设路径加工出阵列标靶；

利用图像采集和处理模块对所述阵列标靶进行图像采集，并利用二次贝赛尔算法校正所述阵列标靶各点的坐标得到振镜补偿文件；

将所述振镜补偿文件输入所述振镜扫描模块的控制单元实现对振镜的校正。

本发明提供一种激光标刻振镜高精度校正系统，所述系统包括振镜扫描模块、振镜校正板、图像采集和处理模块。本发明通过利用振镜扫描模块在振镜校正板上打出阵列标靶，再利用图像采集装置对所述阵列标靶进行图像采集，对所述图像进行处理得到振镜补偿文件，通过所述振镜补偿文件，输入到振镜自带的软件系统实现振镜的校正。本发明实现了振镜的高效校正，无需专业的测量人员及昂贵的测量设备，自动化程度高。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种激光标刻振镜高精度校正系统结构示意图；

图2为聚焦镜后置扫描系统结构示意图；

图3为聚焦镜前置扫描系统结构示意图；