[发明专利]电荷量检测装置及方法

权利要求书

1.一种电荷量检测装置，其特征在于，包括：

支撑板；

至少一个电荷承载单元，设置于所述支撑板上，用于接受离子注入；

至少一个电压检测单元，一一对应的与所述电荷承载单元电连接；

控制单元，与各所述电压检测单元电连接；

所述电荷承载单元包括电容，所述电容包括第一极板、第二极板以及位于所述第一极板和所述第二极板之间的绝缘介质，所述第二极板贴附于所述电压检测单元。

2.根据权利要求1所述的电荷量检测装置，其特征在于，所述电荷量检测装置包括多个所述电压检测单元和多个所述电荷承载单元，多个所述电压检测单元和多个所述电荷承载单元数量相同且一一对应连接，其中，所述电荷承载单元呈阵列排布在所述支撑板上。

3.根据权利要求1所述的电荷量检测装置，其特征在于，所述电压检测单元一一对应地设置在所述电荷承载单元和所述支撑板之间。

4.根据权利要求3所述的电荷量检测装置，其特征在于，所述第一极板与所述电压检测单元电连接，所述第二极板接地。

5.根据权利要求3所述的电荷量检测装置，其特征在于，所述电压检测单元包括电感，所述电感一端连接所述第一极板，另一端连接所述控制单元。

6.根据权利要求3所述的电荷量检测装置，其特征在于，还包括数据存储单元，与所述控制单元连接，用于存储所述第一极板的电压信息。

7.根据权利要求6所述的电荷量检测装置，其特征在于，所述电荷量检测装置还包括屏蔽层，所述屏蔽层设置于所述支撑板上，用于包覆所述控制单元和所述数据存储单元。

8.一种电荷量检测的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供电荷量检测装置，所述电荷量检测装置包括至少一个电压检测单元和至少一个电荷承载单元，所述电压检测单元和所述电荷承载单元电连接，所述电荷承载单元包括电容，所述电容包括第一极板、第二极板以及位于所述第一极板和所述第二极板之间的绝缘介质，所述第二极板贴附于所述电压检测单元；

将所述电荷量检测装置置于预定位置，所述预定位置为离子注入对应的位置；

采用离子注入设备对所述电荷量检测装置进行离子注入，并获取离子注入过程中各所述电荷承载单元的电压信息；

根据各所述电荷承载单元的电压信息确定电荷量信息。

9.根据权利要求8所述的电荷量检测的方法，其特征在于，所述电荷量检测装置包括一一对应电连接的多个电压检测单元和多个电荷承载单元；

所述采用离子注入设备对所述电荷量检测装置进行离子注入之前，还包括：获取所述电荷量检测装置中多个电荷承载单元的坐标信息；

所述根据各电荷承载单元的电压信息确定电荷量信息包括：根据所述多个电荷承载单元的电压信息和坐标信息确定特定坐标位置的电荷量信息。

10.根据权利要求9所述的电荷量检测的方法，其特征在于，在采用离子注入设备对所述电荷量检测装置进行离子注入的过程中，控制所述电压信息的采集时间，并依照所述采集时间获取所述多个电荷承载单元的电压信息；

以及根据所述电荷承载单元的电压信息、采集时间和坐标信息确定特定坐标位置、特定时段的电荷量信息。