[发明专利]近常压XPS系统的检测与维护方法有效
| 申请号： | 201910056860.X | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN109765255B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 崔义;王睿;龚忠苗;赵常保 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 常压 xps 系统 检测 维护 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种近常压XPS系统的检测与维护方法，其特征在于，所述检测与维护方法包括步骤：
将反应腔中的粉末样品对准所述近常压XPS系统的信息采集口，对所述粉末样品进行检测；
待检测完成后，对所述反应腔进行抽真空，在采集腔中通入近常压气体，所述近常压气体的气压不小于100mbar，其中，所述近常压气体为惰性气体，使得所述采集腔中的气压大于所述反应腔中的气压，以将所述信息采集口和所述采集腔中的粉末吸附至所述反应腔中，所述采集腔与所述信息采集口连通，所述采集腔中的气压至少是所述反应腔中的气压的1╳106倍，在所述采集腔中通入近常压气体具体包括：关闭所述采集腔配置的分子泵的驱动电机，在分子泵降速的过程中通过分子泵的进气口往采集腔中通入近常压气体直到分子泵的转速为零。
2.根据权利要求1所述的检测与维护方法，其特征在于，所述信息采集口的直径为300um。
3.根据权利要求2所述的检测与维护方法，其特征在于，所述信息采集口与所述粉末样品之间的距离不超过40mm。
4.根据权利要求1所述的检测与维护方法，其特征在于，在不需要对所述粉末样品进行原位检测的情况下，所述检测与维护方法还包括：在所述粉末样品与所述信息采集口之间插入一块挡板，以遮挡所述粉末样品。
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