[发明专利]一种硅锭的制备方法和铸锭用坩埚在审
申请号: | 201910066782.1 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109778311A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 雷琦;何亮;徐云飞;毛伟;李建敏 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅锭 坩埚 铸锭 坩埚本体 氮化硅层 硅片层 制备 侧壁内表面 金属杂质 硅纯度 边部 阻隔 扩散 | ||
本发明实施例提供了一种铸锭用坩埚,包括坩埚本体、设置在所述坩埚本体底部和侧壁内表面的氮化硅层、以及设置在所述坩埚本体底部和所述氮化硅层之间的第一硅片层,所述第一硅片层的硅纯度大于99.9999%。该铸锭用坩埚能够阻隔坩埚内向硅锭中扩散的各种杂质,大大降低硅锭中金属杂质及氧含量,减少硅锭的边部红区和尾部红区。本发明还提供了使用上述铸锭用坩埚的硅锭的制备方法。
技术领域
本发明涉及多晶硅铸锭技术领域,特别是涉及一种多晶硅铸锭方法和铸锭用坩埚。
背景技术
目前市场上主流光伏产品是晶体硅太阳能电池,也是应用最广泛的产品,其原材料是高纯度硅。然而,现有制备硅锭过程中均不可避免的存在各种杂质污染和缺陷,特别是硅锭边部靠近坩埚的区域内。由于坩埚的杂质可以通过固相扩散进入硅锭,形成硅锭的低少数载流子寿命区,一般将硅锭边部低少子寿命区域称为边部红区,将硅锭尾部低少子寿命区域称为尾部红区。在开方过程中,部分边部红区会随边皮一并被切除掉,但仍会有部分边部红区残余在硅方中,并在后续的制备的电池片中产生黑边并影响电池的性能。而大量切除边部红区和尾部红区的方式,也进一步降低了硅锭的良率,大大增加了生产成本。
目前降低硅锭边部、尾部红区的方法包括:(1)使用化学试剂浸泡,去除坩埚中的杂质;(2)使用高纯度的石英原料制作石英坩埚;(3)在坩埚内表面制备高纯石英涂层。虽然上述方法可以一定程度上减少了硅锭中的金属杂质浓度,但是对其他杂质(例如氧含量)的作用不明显。
因此,有必要开发一种能够有效降低硅锭杂质的方法及装置。
发明内容
有鉴于此,本发明实施例提供了一种硅锭的制备方法和铸锭用坩埚,该铸锭用坩埚能够阻隔坩埚内向硅锭中扩散的各种杂质,大大降低硅锭中金属杂质及氧含量,减少硅锭的边部红区和尾部红区。
第一方面,本发明提供了一种铸锭用坩埚,包括坩埚本体、设置在所述坩埚本体底部和侧壁内表面的氮化硅层、以及设置在所述坩埚本体底部和所述氮化硅层之间的第一硅片层,所述第一硅片层的硅纯度大于99.9999%。
可选地,所述氮化硅层的厚度为30-60μm。
可选地,所述坩埚本体侧壁靠近所述底部的一端设置有第二硅片层,所述第二硅片层置于所述侧壁和所述氮化硅层之间。
可选地,所述第二硅片层的高度占所述坩埚本体侧壁高度的1/10-1/5。
可选地,所述第二硅片层的高度为50-200mm。
可选地,所述第一硅片层和/或所述第二硅片层由若干块硅片拼接而成,任意相邻两块所述硅片之间的间距为1-5μm。
可选地,所述第一硅片层和/或所述第二硅片层的厚度为50-500μm。
可选地,所述第一硅片层通过粘结剂固定在所述坩埚本体底部内表面,所述第二硅片层通过所述粘结剂固定在所述坩埚本体侧壁内表面。
可选地,所述硅片包括多晶硅片、单晶硅片和微晶硅片中的一种或多种。
本发明第一方面所述的铸锭用坩埚,内设有硅片层(第一硅片层或第二硅片层)和氮化硅层,所述硅片层结构致密,可以有效阻坩埚本体内杂质的扩散,大大降低硅锭中金属杂质及氧含量,减少硅锭的边部红区和尾部红区;所述氮化硅层也能够进一步地阻挡杂质,以及有利于改善硅锭粘埚。本发明所述铸锭用坩埚可以广泛应用于光伏领域,例如,用于制备晶体硅铸锭装置,包括铸锭炉等。
第二方面,本发明提供了一种硅锭的制备方法,包括:
提供如本发明第一方面所述的铸锭用坩埚;
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