[发明专利]旋转锌镁靶材及其制备方法

权利要求书

1.旋转锌镁靶材，其是一种圆柱形结构，其特征在于：

其包括中空的筒形的金属衬管，以及包覆在所述衬管外周壁上的靶材层；所述靶材层为锌镁合金，其中，镁的重量百分比为2~5%，其余为锌。

2.根据权利要求1所述的旋转锌镁靶材，其特征在于：

所述靶材层的长度为500~4000mm，厚度5mm~20mm。

3.根据权利要求1所述的旋转锌镁靶材，其特征在于：

所述靶材层通过浇铸的方式在所述衬管上。

4.根据权利要求1所述的旋转锌镁靶材，其特征在于：所述靶材层两端均设置有环形凸出的密封环。

5.根据权利要求1至4其中之一所述的旋转锌镁靶材的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：

1）在真空环境下，向熔炼炉中加入块状或粉状的锌，然后加入覆盖剂，加热熔化，加热温度为450~750℃；

2）在真空环境下，加入块状或粉状的镁，加热熔化，加热温度为450~750℃；

3）在真空环境下，搅拌，使得锌和镁充分混合，得到混合熔液；

4）在真空环境下，将衬管固定在模具内，将步骤3得到的混合熔液浇铸在模具与衬管之间的间隙；

5）冷却，使得混合熔液凝固形成管坯；

6）外观加工，将冷却后的管坯，根据磁控溅射机台尺寸要求，利用车床加工外径及两端的密封环。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述步骤4）中，从模具底部注入混合熔液进行浇铸；模具浇铸熔液上升速度为400~500mm/分钟；浇铸温度450~550℃。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述步骤5）中，将水雾冷却器放进衬管底部，由电机驱动水雾冷却器由下向上移动，冷却得到管坯；水雾冷却器提升速度200~500mm/分钟。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述模具为铸铁模具。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述熔炼炉为下浇式的电阻炉。