[发明专利]微机电泵模块

权利要求书

1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：

一微机电芯片，具有一芯片本体，该芯片本体为一长方形，且具有一短边；

至少一信号电极，设置于该芯片本体并邻近该短边；

多个微机电泵，皆具有一第一电极与一第二电极，该第二电极电连接该至少一信号电极；

多个开关单元，电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及

多个控制电极，设置于该芯片本体并邻近该短边且分别电连接该多个开关单元；

其中，该至少一信号电极接收一调变电压以传输至该多个微机电泵的该第二电极，该多个开关单元控制该多个微机电泵启闭作动。

2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一信号电极包含有一第一信号电极。

3.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一信号电极。

4.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一信号电极更包含一第二信号电极。

5.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一信号电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二信号电极。

6.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一信号电极与该第二信号电极。

7.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一信号电极更包含一第三信号电极及一第四信号电极。

8.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组、一第二微机电泵群组、一第三微机电泵群组及一第四微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一信号电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二信号电极，该第三微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三信号电极，该第四微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第四信号电极。

9.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一信号电极与该第二信号电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三信号电极与该第四信号电极。

10.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一信号电极、该第二信号电极、该第三信号电极及该第四信号电极。

11.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵与该多个开关单元分别一对一对应连接。

12.如权利要求1所述的微机电泵模块，该多个开关单元包含有一第一开关单元及一第二开关单元，邻近该第一开关单元的该多个微机电泵形成一第一微机电作动区，且该第一微机电作动区内的该多个微机电泵皆电连接该第一开关单元，邻近该第二开关单元的该多个微机电泵形成一第二微机电作动区，且该第二微机电作动区内的该多个微机电泵皆电连接该第二开关单元。

13.如权利要求12所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个开关单元包含有一第三开关单元及一第四开关单元，邻近该第三开关单元的该多个微机电泵形成一第三微机电作动区，且该第三微机电作动区内的该多个微机电泵皆电连接至该第三开关单元，而邻近该第四开关单元的该多个微机电泵形成一第四微机电作动区，且该第四微机电作动区内的该多个微机电泵皆电连接至该第四开关单元。