[发明专利]微机电泵模块

说明书

一种微机电泵模块，包含微机电芯片、至少一信号电极、多个微机电泵、多个开关单元以及多个控制电极。微机电芯片具有长方形的芯片本体，且具有一短边。至少一信号电极设置于芯片本体并邻近短边。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。多个控制电极设置于芯片本体并邻近短边且分别电连接多个开关单元。至少一信号电极接收调变电压以传输至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。

【技术领域】

本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用信号电极的设置来减少微处理器的接点，再利用开关单元控制微机电泵，进而简化微机电泵接点与布线。

【背景技术】

随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化的趋势，但传统的泵难以将尺寸缩小至公厘等级，故目前的微型流体输送装置仅能使用压电泵结构来作为微型流体传输装置。

而微机电泵虽可将泵的体积微小化至微米等级，但微米等级的微机电泵会因为过小的体积限制了流体传输量，故需要多个微机电泵搭配使用，请参考图1所示，目前皆是通过一个高阶微处理器1分别对各个微机电泵进行控制，但高阶微处理器1本身成本高，且每个微机电泵2都必须要连接高阶微处理器1的两根微处理器接脚11连接，再通过高阶微处理器1分别控制各个微机电泵2，才得以达到精确控制的效果，但却会因此大幅提升高阶微处理器1的成本，导致微机电泵模块成本居高不下，也会增加封装打线的困难，难以普及，因此，如何降低微机电泵模块的成本为目前微机电泵首要克服的难关。

【发明内容】

本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，通过信号电极来传输驱动微机电泵的调变电压，再经由开关单元来控制微机电泵启闭动作，来减少微处理器的接点，减少微机电泵模块的接点及布线，进一步简化微机电泵模块。

为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵模块，包含：一微机电芯片，具有一芯片本体为一长方形，具有一短边；至少一信号电极，设置于该芯片本体并邻近该短边；多个微机电泵，皆具有一第一电极与一第二电极，该第二电极电连接该至少一信号电极；多个开关单元，电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及多个控制电极，设置于该芯片本体并邻近该短边且分别电连接该多个开关单元；其中，该至少一信号电极接收一调变电压以传至该多个微机电泵的该第二电极，该多个开关单元控制该多个微机电泵启闭作动。

【附图说明】

图1为现有技术中微机电泵模块的示意图。

图2为本案微机电泵模块的第一实施例示意图。

图3为本案微机电泵模块的第二实施例示意图。

图4为本案微机电泵模块的第三实施例示意图。

图5为本案微机电泵模块的第四实施例示意图。

图6为本案微机电泵模块的第五实施例示意图。

图7为本案微机电泵模块的第六实施例示意图。

图8为本案微机电泵模块的第七实施例示意图。

图9为本案微机电泵模块的第八实施例示意图。

图10A为本案微机电泵的开关单元连接微机电泵的示意图。

图10B为本案微机电泵的开关单元连接微机电泵另一实施例的示意图。

【具体实施方式】

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。