[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，其特征在于，

所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；

所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；

所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；

所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；

所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；

所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置关闭所述喷嘴；当所述喷嘴控制装置处于所述第二状态时，所述喷嘴控制装置打开所述喷嘴。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述喷嘴控制装置包括挡板和驱动单元，所述挡板与所述线性蒸发源活动连接，所述驱动单元用于驱动所述挡板在第一位置和第二位置之间运动；

当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板位于所述喷嘴的上方并且将所述喷嘴封堵；当所述挡板位于所述第二位置时，所述挡板在水平方向上与所述喷嘴错开；

其中，所述挡板位于所述第一位置时的状态为所述第一状态，所述挡板位于所述第二位置时的状态为所述第二状态。

6.一种蒸镀方法，其特征在于，包括以下步骤：线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调。

7.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调包括：

在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源绕所述线性蒸发源的竖直中心轴线相对所述待蒸镀基板转动180°，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调；其中，所述线性蒸发源的竖直中心轴线为所述一竖直轴线。

8.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，所述线性蒸发源对所述待蒸镀基板扫描蒸镀的次数为两次。

9.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，沿第一方向，所述线性蒸发源在所述待蒸镀基板的两侧之间相对所述待蒸镀基板往返运动的过程中均对所述待蒸镀基板进行扫描蒸镀；

其中，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于，在所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调的过程中，所述线性蒸发源的喷嘴关闭。