[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法

说明书

本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，为解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题而发明。该蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，线性蒸发源设置于蒸发源载台上，基板载台位于蒸发源载台的上方，蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动；在旋转驱动装置的驱动下，蒸发源载台、基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置能够对调。本发明可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机发光二极管)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。OLED器件中的有机材料层的主流制备方法之一是蒸镀法，具体为在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，通过掩膜板的开孔沉积在待蒸镀基板上。其中，在蒸镀过程中，如何提高蒸镀膜厚的均一性已成为业内追求的目标。

现有技术中的一种蒸镀设备，包括线性蒸发源，线性蒸发源的顶部具有多个沿线性蒸发源的长度方向排布的喷嘴，该蒸镀设备工作时，线性蒸发源沿垂直于其长度的方向运动，以对待蒸镀基板进行扫描蒸镀。

然而，由于受到线性蒸发源在其长度方向上蒸镀速率的差异、喷嘴大小设计不均、线性蒸发源内坩埚在其长度方向上加热不均匀等诸多因素的影响，造成蒸镀膜厚在沿线性蒸发源的长度方向上有一定的波动，而基板上有机发光材料膜厚的不均匀，则大大降低了OLED显示面板的显示效果。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题。

为达到上述目的，第一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。

进一步地，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。

进一步地，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。

进一步地，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置关闭所述喷嘴；当所述喷嘴控制装置处于所述第二状态时，所述喷嘴控制装置打开所述喷嘴。