[发明专利]用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器

说明书

公开了一种用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器，包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层是位于PZT层的底表面上并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第二下电极岛包含从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。中电极层包括第一中电极岛以及第二中电极岛，所述第二中电极岛包含从所述主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。

交叉相关申请

本申请要求2018年1月25日递交的美国临时专利申请No.62/621,990的优先权，其全文结合在此引作参考。

技术领域

本公开大体上涉及盘驱动器悬架以及挠性部(flexure)，并且更特别地涉及用于悬架以及挠性部的多层微致动组件。

背景技术

盘驱动器头悬架在硬盘驱动器(HDD)中被使用，其从旋转的磁盘读取媒介并且将媒介写入旋转的磁盘。悬架是头万向节组件(HGA)的一个部件，其包括多个悬架以及磁性读取/写入头(被称为“滑块”)。滑块包括换能器，以将媒介读取并写入到旋转的磁盘之一。盘驱动器头悬架能够包括多个部件，例如包含挠性部、负载梁、基板、以及一个或多个致动电机。大体上，致动电机能够被用于将滑块在旋转的磁盘上精确地定位，以改善HDD的总体性能。

仍旧存在为了满足HDD业的要求而针对改善的盘驱动器头悬架的不断的需求。期望具有改善的性能能力的悬架，但能够高效地被生产。本公开解决了这些以及其它问题。

发明内容

根据一些实施例，用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层位于PZT层的底表面上，并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第二下电极岛包含指部以及主体，所述指部从所述主体朝向所述PZT层的第一端部延伸。中电极层在所述PZT层的顶表面与所述约束层的底表面之间设置，并包括第一中电极岛和第二中电极岛。第二中电极岛包括指部以及主体部分，所述指部从所述主体朝向所述PZT层的第二端部延伸。上电极层位于约束层的顶表面上。

根据其它实施例，一种用于硬盘驱动器的悬架包括负载梁、挠性部、以及微致动器。负载梁包括万向节。挠性部联接至负载梁并且包括弹性金属层、绝缘层、以及导电层。弹性金属层包括滑块安装区域、第一安装区域、以及第二安装区域。滑块安装区域具有负载点部位，用于接合负载梁的万向节。导电层包括功率迹线以及接地垫，电机功率迹线包括端子垫。微致动器包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层位于PZT层的底表面上，并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第一下电极岛电连接至端子垫。第二下电极岛包括指部以及主体部分，指部从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸。第三下电极岛电连接至接地垫。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。中电极层包括第一中电极岛以及第二中电极岛。第二中电极岛包括指部以及主体部分，指部从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸。上电极层位于约束层的顶表面上。

根据其它实施例，一种用于硬盘驱动器悬架的多层微致动组件包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、上电极层、第一侧端部电极、以及第二侧端部电极。下电极层位于PZT层的底表面上并且包括第一下电极岛以及第二下电极岛。第二下电极岛包括主体部分以及指部，指部从主体部分朝向多层微致动组件的第一端部延伸。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。上电极层位于约束层的顶表面上。第一侧端部电极联接至上电极并且在大致垂直于上电极的方向上朝向下电极层延伸。第二侧端部电极联接至第一下电极岛，并且在大致垂直于第一下电极岛的方向上朝向上电极层延伸。第二侧端部电极被配置成电连接第一下电极岛以及中电极层。