[发明专利]基板接合装置在审

专利信息
申请号: 201910078353.6 申请日: 2019-01-25
公开(公告)号: CN111326442A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 车勇沅;曹美玉;曹志守;金旲炫 申请(专利权)人: 株式会社爱特林
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 北京冠和权律师事务所 11399 代理人: 朱健;张国香
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 接合 装置
【权利要求书】:

1.一种基板排列装置,其特征在于,

粘贴第一基板(100)与第二基板(200),

所述第一基板(100)与所述第二基板(200)区分为所述第一基板(100)与所述第二基板(200)相对并粘贴的粘贴面与处于所述粘贴面的背面的非粘贴面,

具有:

第一基板(100),由第一粘贴面(110)与处于所述第一粘贴面(110)的背面的第一非粘贴面(120)形成;

第二基板(200),由第二粘贴面(210)与处于所述第二粘贴面(210)的背面的第二非粘贴面(220)形成;

第一支架(300),供安装所述第一基板(100)的所述第一非粘贴面(120);

第二支架(400),供安装所述第二基板(200)的所述第二非粘贴面(220),

使所述第一支架(300)与所述第二支架(400)接近,以使所述第一粘贴面(110)与所述第二粘贴面(210)相互紧贴,而排列所述第一基板(100)与所述第二基板(200)。

2.根据权利要求1所述的基板接合装置,其特征在于,

包括:

一个以上第一对准标志(130),形成于所述第一基板(100)的所述第一粘贴面(110);

一个以上第二对准标志(230),形成于所述第二基板(200)的所述第二粘贴面(210);

一个以上第三对准标志(330),形成于所述第一支架(300)的既定的位置;

一个以上第四对准标志(430),形成于所述第二支架(400)的既定的位置,

获取所述第一对准标志(130)与所述第三对准标志(330)的第一图像,并获取所述第二对准标志(230)与所述第四对准标志(430)的第二图像而运用所述第一图像及第二图像,

使所述第一支架(300)与所述第二支架(400)接近,以使所述第一粘贴面(110)与所述第二粘贴面(210)相互紧贴,而排列所述第一基板(100)与所述第二基板(200)。

3.根据权利要求2所述的基板接合装置,其特征在于,

包括:

第一摄像机部(500),获取所述第一对准标志(130)与所述第三对准标志(330)的图像;

第二摄像机部(510),获取所述第二对准标志(230)与所述第四对准标志(430)的图像,

并具有:分析部(530),分析所述各自的对准标志的排列误差,

通过所述分析部(530)而分析各自的排列误差,

而使所述第一支架(300)与所述第二支架(400)接近,以使所述第一粘贴面(110)与所述第二粘贴面(210)在所需的位置相互紧贴,而排列所述第一基板(100)与所述第二基板(200)。

4.根据权利要求2所述的基板接合装置,其特征在于,

所述第一支架(300)为支撑所述第一基板(100)的平板状,并由供安装所述第一非粘贴面(120)的第一安装面(310)与处于所述第一安装面(310)的外角的第一外角面(320)构成,

所述第二支架(400)为支撑所述第二基板(200)的第二粘贴面(210)的平板状,并由供安装所述第二非粘贴面(220)的第二安装面(410)与处于所述第二安装面(410)的外角的第二外角面(420)构成,

在安装于所述第一支架(300)的所述第一安装面(310)的所述第一基板(100)的所述第一粘贴面(110)与安装于所述第二支架(400)的所述第二安装面(410)的所述第二基板(200)的所述第二粘贴面(210)以相互相对的方式配置之后,

使所述第一支架(300)与所述第二支架(400)接近,以使所述第一粘贴面(110)与所述第二粘贴面(210)相互紧贴,而排列所述第一基板(100)与所述第二基板(200)。

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