[发明专利]一种工件台定位接口工装有效
申请号: | 201910080227.4 | 申请日: | 2019-01-28 |
公开(公告)号: | CN111487846B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 丛国栋;郑文宇 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工件 定位 接口 工装 | ||
1.一种工件台定位接口工装,其特征在于,包括:
基座(1),用于与第一整机连接,所述基座(1)上设置有凸起;
接口定位件(3),用于与第二整机连接,所述接口定位件(3)设置有接口定位孔;
连接组件(2),用于连接所述基座(1)和所述接口定位件(3),所述连接组件(2)包括凹槽,以与所述凸起紧密配合。
2.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述凸起包括对称设置的第一斜面(121)和第二斜面(122),且所述第一斜面(121)和所述第二斜面(122)呈八字形设置;
所述凹槽能与所述第一斜面(121)和所述第二斜面(122)贴合。
3.根据权利要求2所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述连接组件(2)包括:
压板(23);
楔形块组件,位于所述凸起和所述压板(23)之间并能与两者抵紧,所述楔形块组件包括第一楔形块(21)和第二楔形块(22),所述第一楔形块(21)与所述第一斜面(121)配合,所述第二楔形块(22)与所述第二斜面(122)配合;
固定连接件,其穿过所述压板(23)、所述楔形块组件和所述基座(1)后,与所述接口定位件(3)连接。
4.根据权利要求3所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述楔形块组件还包括:
弹簧(24),位于所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)之间;
横向螺钉(25),其依次穿过所述第二楔形块(22)和所述弹簧(24)后与所述第一楔形块(21)螺纹连接。
5.根据权利要求3或4所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)设置于所述基座(1)远离所述连接组件(2)的一侧,所述接口定位件(3)设置有连接杆(8),所述连接杆(8)的穿过所述基座(1)与所述楔形块组件连接。
6.根据权利要求4所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述连接组件(2)设置有容置槽(123),所述固定连接件穿过所述容置槽(123)与所述接口定位件(3)连接,其中所述固定连接件能在所述容置槽(123)中沿与所述横向螺钉(25)平行的方向移动。
7.根据权利要求6所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述固定连接件包括四个纵向螺钉组(4),四个所述纵向螺钉组(4)在所述压板(23)上呈矩形分布;所述容置槽(123)设置于所述基座(1)上,且对应所述四个所述纵向螺钉组(4)设置有四个所述容置槽(123)。
8.根据权利要求7所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)均包括抵接主体和限位主体,所述限位主体为对称设置于所述抵接主体两侧的耳板,两个所述限位主体分别设置于所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)相互远离的一端;
四个所述纵向螺钉组(4)对称设置于所述抵接主体的两侧,且位于两个所述限位主体之间。
9.根据权利要求6所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)设置于所述基座(1)远离所述连接组件(2)的一侧,所述接口定位件(3)设置有导向销(5);
所述基座(1)上设置有腰型孔(7),所述腰型孔(7)的长度方向与所述横向螺钉(25)的轴向平行,所述导向销(5)能插入所述腰型孔(7)中沿所述腰型孔(7)的长度方向移动,其中所述腰型孔(7)的宽度与所述导向销(5)的直径相当。
10.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述基座(1)包括转接部(12)和连接部(11),所述转接部(12)与所述连接组件(2)连接,所述连接部(11)与所述第一整机连接。
11.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)和所述连接组件(2)或所述基座(1)之间设置有修模垫片(6)。
12.根据权利要求11所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述修模垫片(6)的表面喷涂有SiC涂层。
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