[发明专利]一种工件台定位接口工装有效

专利信息
申请号: 201910080227.4 申请日: 2019-01-28
公开(公告)号: CN111487846B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 丛国栋;郑文宇 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 工件 定位 接口 工装
【权利要求书】:

1.一种工件台定位接口工装,其特征在于,包括:

基座(1),用于与第一整机连接,所述基座(1)上设置有凸起;

接口定位件(3),用于与第二整机连接,所述接口定位件(3)设置有接口定位孔;

连接组件(2),用于连接所述基座(1)和所述接口定位件(3),所述连接组件(2)包括凹槽,以与所述凸起紧密配合。

2.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述凸起包括对称设置的第一斜面(121)和第二斜面(122),且所述第一斜面(121)和所述第二斜面(122)呈八字形设置;

所述凹槽能与所述第一斜面(121)和所述第二斜面(122)贴合。

3.根据权利要求2所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述连接组件(2)包括:

压板(23);

楔形块组件,位于所述凸起和所述压板(23)之间并能与两者抵紧,所述楔形块组件包括第一楔形块(21)和第二楔形块(22),所述第一楔形块(21)与所述第一斜面(121)配合,所述第二楔形块(22)与所述第二斜面(122)配合;

固定连接件,其穿过所述压板(23)、所述楔形块组件和所述基座(1)后,与所述接口定位件(3)连接。

4.根据权利要求3所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述楔形块组件还包括:

弹簧(24),位于所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)之间;

横向螺钉(25),其依次穿过所述第二楔形块(22)和所述弹簧(24)后与所述第一楔形块(21)螺纹连接。

5.根据权利要求3或4所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)设置于所述基座(1)远离所述连接组件(2)的一侧,所述接口定位件(3)设置有连接杆(8),所述连接杆(8)的穿过所述基座(1)与所述楔形块组件连接。

6.根据权利要求4所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述连接组件(2)设置有容置槽(123),所述固定连接件穿过所述容置槽(123)与所述接口定位件(3)连接,其中所述固定连接件能在所述容置槽(123)中沿与所述横向螺钉(25)平行的方向移动。

7.根据权利要求6所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述固定连接件包括四个纵向螺钉组(4),四个所述纵向螺钉组(4)在所述压板(23)上呈矩形分布;所述容置槽(123)设置于所述基座(1)上,且对应所述四个所述纵向螺钉组(4)设置有四个所述容置槽(123)。

8.根据权利要求7所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)均包括抵接主体和限位主体,所述限位主体为对称设置于所述抵接主体两侧的耳板,两个所述限位主体分别设置于所述第一楔形块(21)和所述第二楔形块(22)相互远离的一端;

四个所述纵向螺钉组(4)对称设置于所述抵接主体的两侧,且位于两个所述限位主体之间。

9.根据权利要求6所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)设置于所述基座(1)远离所述连接组件(2)的一侧,所述接口定位件(3)设置有导向销(5);

所述基座(1)上设置有腰型孔(7),所述腰型孔(7)的长度方向与所述横向螺钉(25)的轴向平行,所述导向销(5)能插入所述腰型孔(7)中沿所述腰型孔(7)的长度方向移动,其中所述腰型孔(7)的宽度与所述导向销(5)的直径相当。

10.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述基座(1)包括转接部(12)和连接部(11),所述转接部(12)与所述连接组件(2)连接,所述连接部(11)与所述第一整机连接。

11.根据权利要求1所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述接口定位件(3)和所述连接组件(2)或所述基座(1)之间设置有修模垫片(6)。

12.根据权利要求11所述的工件台定位接口工装,其特征在于,所述修模垫片(6)的表面喷涂有SiC涂层。

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