[发明专利]一种工件台定位接口工装

说明书

本发明公开了一种工件台定位接口工装，属于工业设备之间连接的辅助设备技术领域。该工件台定位接口工装包括用于与第一整机连接的基座、用于与第二整机连接的接口定位件、以及用于连接基座和接口定位件的连接组件，其中接口定位件设置有接口定位孔，基座设置有凸起，连接组件包括凹槽，以与凸起紧密配合。通过在基座中设置凸起，连接组件中设置与凸起配合的凹槽，凸起被凹槽两侧的侧壁限制，形成几何封闭，使得连接组件与基座两者之间无论是受到外界冲击后还是使用时间较长均不会发生横向错动；当基座与第一整机连接后，能保证第一整机和第二整机的稳固连接。

技术领域

本发明涉及工业设备之间连接的辅助设备技术领域，尤其涉及一种工件台定位接口工装。

背景技术

光刻机整机在安装集成及维修维护时，需要定期将硅片台移至光刻机主体以外或恢复原来的位置，硅片台机械接口与光刻机的机械基准之间定位精度要求比较高。

现有的光刻机整机主体连接有接口定位孔，硅片台上的定位销与接口定位孔配合，其中接口定位孔与整机主体通过螺栓结构连接，仅仅依靠摩擦力固定方式锁紧，一段时间后，螺栓存在松动风险，出现定位不准的问题。并且，螺栓在承受冲击时，螺栓位置也可能发生错动。

并且，目前对于光刻机整机主体和硅片台的连接还会采用现场配打销的方式来实现稳定定位，但是配打销操作非常麻烦，而且会影响光刻机整洁，造成颗粒污染。

为此，亟需提供一种工件台定位接口工装以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种工件台定位接口工装，可以提高相互连接的第一整机以及第二整机的稳固性。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种工件台定位接口工装，包括：

基座，用于与第一整机连接，所述基座上设置有凸起；

接口定位件，用于与第二整机连接，所述接口定位件设置有接口定位孔；

连接组件，用于连接所述基座和所述接口定位件，所述连接组件包括凹槽，以与所述凸起紧密配合。

通过在基座和连接组件上分别设置能相互配合的凸起与凹槽，其中凸起被凹槽两侧的侧壁限制，形成几何封闭，使得连接组件与所述基座两者之间无论是受到外界冲击后还是使用时间较长均不会发生横向错动；当基座与第一整机连接后，与连接组件连接的接口定位件相对第一整机不会发生横向错动；即能保证第二整机通过接口定位孔与第一整机连接后，第一整机和第二整机两者能够实现稳固的紧密连接。

作为优选，述凸起包括对称设置的第一斜面和第二斜面，且所述第一斜面和所述第二斜面呈八字形设置；

所述凹槽能与所述第一斜面和所述第二斜面贴合。

作为优选，所述连接组件包括：

压板；

楔形块组件，位于所述凸起和所述压板之间并能与两者抵紧，所述楔形块组件包括第一楔形块和第二楔形块，所述第一楔形块与所述第一斜面配合，所述第二楔形块与所述第二斜面配合；

固定连接件，其穿过所述压板、所述楔形块组件和所述基座后，与所述接口定位件连接。

作为优选，所述楔形块组件还包括：

弹簧，位于所述第一楔形块和所述第二楔形块之间；

横向螺钉，其依次穿过所述第二楔形块和所述弹簧后与所述第一楔形块螺纹连接。

作为优选，所述接口定位件设置于所述基座远离所述连接组件的一侧，所述接口定位件设置有连接杆，所述连接杆穿过所述基座与所述楔形块组件连接。