[发明专利]监测系统

权利要求书

1.一种监测系统，其特征在于，用于监测MOCVD系统中各个设备的工作，所述监测系统包括：

第一监测子系统，包括主参数控制模块和从参数控制模块，所述从参数控制模块设置在MOCVD系统的第一设备中，所述从参数控制模块用于对所述第一设备进行监测且将监测的结果向主参数控制模块；

第二监测子系统，包括主站和从站，所述从站设置在所述MOCVD系统中的第二设备中，至少一个所述从站用于对所述第二设备监测并将监测的结果发送至所述主站，所述主站还用于根据所述从站发送的监测的结果确定所述第二设备的运行状态，所述主参数控制模块还用于将获取的所述从参数控制模块的监测的结果发送至所述主站，所述主站还用于根据所述主参数控制模块发送的监测的结果确定所述第一设备的运行状态，所述第一监测子系统和第二监测子系统具有不同的协议。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主参数控制模块设置在所述第二设备中。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主参数控制模块还包括：

数据转换子模块，用于将从所述从参数控制模块获取的监测的结果转换为符合所述第二监测子系统的协议的数据；

数据发送子模块，用于将所述数据转换子模块转换得到的数据发送至所述从站。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述从参数控制模块有M个，M个所述从参数控制模块中，第1+Y个所述从参数控制模块与第Y个所述从参数控制模块通信连接，且第一个所述从参数控制模块与所述主参数控制模块通信连接，M≥2，1≤Y≤M-1。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述从站有N个，N个所述从站中，第1+X个所述从站与第X个所述从站通信连接，且第一个所述从站与所述主站通信连接，N≥2，1≤X≤N-1。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其特征在于，在确定所述第一设备和/或所述第二设备的运行状态异常的情况下，所述主站还用于发出异常提示，所述异常提示为显示在所述主站的显示界面的提示信息和/或所述主站发出的报警信号。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其特征在于，在确定所述第一设备和/或所述第二设备的运行状态异常的情况下，所述主站还用于控制所述MOCVD系统停止工作。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其特征在于，各所述第一设备为电能表、温度控制器、蝶阀控制器、质量流量控制器或压力控制器。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其特征在于，所述第二监测子系统的通讯协议为基于EtherCAT的通信协议。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其特征在于，所述第一监测子系统的通讯协议为基于Profibus-DP、DeviceNet或RS485的通讯协议。