[发明专利]显影液浓度测量装置及方法

权利要求书

1.一种显影液浓度测量装置，用以进行显影液中各成分浓度的测量，所述显影液包括光阻、四甲基氢氧化铵以及碳酸根，其特征在于，所述显影液浓度量测装置包括：

光阻测量模块，用以接收所述显影液，并对所述显影液进行光阻的浓度的测量，以获得所述光阻的浓度a；

管道模块，用以输送所述显影液；

浓度计测量模块，包括第一超声波浓度计，所述浓度计测量模块用以接收所述显影液，并对所述显影液进行测量和计算，以获得包括所述四甲基氢氧化铵的浓度b1、所述碳酸根的浓度c1的数据M；

测量辅助模块，包括第二超声波浓度计，所述测量辅助模块用以接收所述显影液，并对所述显影液进行测量，以获得包括所述四甲基氢氧化铵的浓度b2、所述碳酸根的浓度c2的数据N；

处理模块，用以接收所述数据M和数据N，并将所述数据M与所述数据N进行对比，以及根据所述数据M与所述数据N的差值是否处在目标范围内判定所述显影液浓度测量的否准确。

2.根据权利要求1所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，所述光阻测量模块包括：

光源，用以提供第一光线；

镜头和干涉滤光器，用以获得具有预定波长的第二光线；

检出器，用以在第二光线穿过所述显影液后，测量所述第二光线的透过率，获得所述显影液的吸光度值，计算获取所述显影液的光阻的浓度a。

3.根据权利要求2所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，所述光阻测量模块还包括用以将所述透过率、所述吸光度值以及所述光阻浓度a显示的显示器。

4.根据权利要求1所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，所述浓度计测量模块还包括导电率计和温度计；

其中，所述浓度计测量模块用以获取所述光阻的浓度a、所述四甲基氢氧化铵的浓度b1以及所述碳酸根的浓度c1的整体浓度A1，进而获取所述四甲基氢氧化铵的浓度b1和所述碳酸根的浓度c1。

5.根据权利要求4所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，

所述第二超声波浓度计用于获取所述光阻的浓度a、所述四甲基氢氧化铵的浓度b2以及所述碳酸根的浓度c2的整体浓度A2；

所述测量辅助模块还包括：

对比单元，用以接收并对比所述A1和所述A2，若所述A1和所述A2的差值在预定范围内，则输出所述显影液浓度的各项测量值数据。

6.根据权利要求1所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，所述第一超声波浓度计和所述第二超声波浓度计并联，且所述第一超声波浓度计和所述第二超声波浓度计的排布方向相同，所述第一超声波浓度计和所述第二超声波浓度计通过不同的信号传输设备与所述处理模块进行信号输送。

7.根据权利要求1所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，还包括：

取样模块，用以获取部分所述显影液以供浓度测量；

真空模块，用以将所述管道模块内的杂物排出，以提供真空环境。

8.根据权利要求1所述的显影液浓度测量装置，其特征在于，所述第一超声波浓度计和所述第二超声波浓度计分别设置在相互独立的测量管道中。