[发明专利]金属层用蚀刻剂组合物和制造导电图案的方法

权利要求书

1.一种含银层用蚀刻剂组合物，包括：

62-68重量％的磷酸；

6-8重量％的硝酸；

4-6重量％的醋酸；

0.2-1.0重量％的醋酸盐；

0.1-0.3重量％的亚磷酸；和

余量的水。

2.根据权利要求1所述的含银层用蚀刻剂组合物，其中所述醋酸盐包括选自由醋酸钠、醋酸铵、醋酸钾和醋酸钙组成的组中的至少一种。

3.一种制造导电图案的方法，包括：

在基板上形成金属层；和

通过使用根据权利要求1或2所述的含银层用蚀刻剂组合物来蚀刻所述金属层。

4.根据权利要求3所述的制造导电图案的方法，其中所述形成金属层包括形成含银层。

5.根据权利要求4所述的制造导电图案的方法，其中所述形成金属层还包括形成透明导电氧化物层。

6.根据权利要求5所述的制造导电图案的方法，其中所述透明导电氧化物层包括第一透明导电氧化物层和第二透明导电氧化物层，并且

所述含银层介于所述第一透明导电氧化物层和所述第二透明导电氧化物层之间。

7.根据权利要求5所述的制造导电图案的方法，其中所述透明导电氧化物层包括选自由氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟锡锌(ITZO)、氧化镓锌(GZO)和氧化铟镓锌(IGZO)组成的组中的至少一种。

8.根据权利要求3所述的制造导电图案的方法，还包括：

在所述基板上形成薄膜晶体管；

形成与所述薄膜晶体管电连接的像素电极；和

在所述像素电极上形成显示层，

其中所述金属层形成在所述显示层上。

9.根据权利要求3所述的制造导电图案的方法，其中所述导电图案被设置为图像显示装置的公共电极、反射电极或布线。