[发明专利]一种卧式磁控镀膜生产线

说明书

本发明涉及薄膜镀膜产品技术领域，具体公开卧式磁控镀膜生产线，包括底架和安装在底架上的若干真空室，所述真空室包括镀膜前清洗真空室、镀膜前加热真空室、若干镀膜真空室以及对各真空室进行抽真空的抽气机组，在生产线的前后两端部还对应设有具有升降功能的镀膜夹具上下料台，所述镀膜真空室内部设有至少两对磁控溅射靶。该卧式磁控镀膜生产线能全自动对待镀工件进行预清洗和预加热，并能有效的调节镀膜时抽真空气流大小，镀膜效果好，镀膜生产效率大大提高。

技术领域

本发明涉及镀膜产品技术领域，特别涉及卧式磁控镀膜生产线。

背景技术

现有技术中，常用的镀膜设备中，需事先单独的对工件进行前处理，清除工件的表面杂质，然后再进行热处理，这样导致生产效率低，而且镀膜附着力差。

此外，一个镀膜室中通常只安装有一支靶，需频繁更换靶材，靶材利用率较低，且更换难度大，镀膜产品单一，此外在抽气时会将大量反应气体抽走，影响镀膜效果。同时，在镀膜夹具走到另一侧后不能自动下降走到回转架中回到设备进料侧；当镀膜夹具走到镀膜室后，只能单向往前移动，因此导致镀膜厚度不够。

因此研发一种能有效提高镀膜生产效率、提高镀膜产品附着力的卧式磁控镀膜生产线迫在眉睫。

发明内容

本发明的目的是克服上述现有技术的不足，具体公开一种卧式磁控镀膜生产线，该卧式磁控镀膜生产线能全自动对待镀工件进行预清洗和预加热，并能有效的调节镀膜时抽真空气流大小，镀膜效果好，镀膜生产效率大大提高。

为了达到上述技术目的，本发明是按照以下技术方案予以实现的：

本发明所述的卧式磁控镀膜生产线，包括底架和安装在底架上的若干真空室，所述真空室沿着待镀工件前进的方向依次包括镀膜前清洗真空室、镀膜前加热真空室、若干镀膜真空室以及对各真空室进行抽真空的抽气机组，在生产线的前后两端部还对应设有具有升降功能的镀膜夹具上下料台，所述镀膜真空室内部设有至少两对磁控溅射靶。

作为上述技术的进一步改进，所述镀膜前加热真空室内设有加热装置，所述加热装置内安装有石英灯管，通过石英灯管进行有效的加热。

作为上述技术的更进一步改进，所述镀膜前清洗真空室设有离子发射装置，该离子发射装置上安装有发射板体。

作为上述技术的更进一步改进，所述发射板体通过RF电源输入高频电压后对待镀工件进行离子清洗，能大面积的清洗镀膜工件表面，清洗效果好，清洗效率高。

作为上述技术的更进一步改进，所述镀膜真空室设有两支圆柱状磁控溅射靶，两磁控溅射靶之间设有用于阻隔靶材污染的隔板，通过程序控制后使得待镀工件的夹具能在镀膜真空室中往复来回运动。

作为上述技术的更进一步改进，所述抽气机组上设有节流阀，所述节流阀安装有用于调节镀膜时抽真空气流大小的旋转挡板机构，通过调节旋转挡板角度来调节镀膜时抽真空气流大小，能有效的减少反应气体被抽走。

作为上述技术的更进一步改进，所述镀膜夹具上下料台设有升降机构，所述升降机构安装有自润滑轴套，保证导杆能上下自如滑动。

作为上述技术的更进一步改进，所述生产线还配备有镀膜夹具运送车，方便镀膜夹具运送，提高生产效率。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明所述的磁控镀膜生产线，通过镀膜前加热真空室和镀膜前清洗真空室，自动清洗和预加热工件，然后通过安装在镀膜真空室内的若干对溅射靶，减少靶材更换次数，装拆方便，提高靶材利用率，从而减少停机次数达到节约维修时间等优势；

(2)本发明中，在抽气机组中增加节流阀，能减少反应气体被抽走，能有效地增强镀膜的均匀性；