[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质

权利要求书

1.一种数据处理方法，其特征在于，

所述数据处理方法包括：

采样步骤，基于基板处理装置的物理量的多个测定结果来求取由多个所述测定结果的数据构成的时序数据，

评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及

采样周期控制步骤，对每个时序数据的种类控制在所述采样步骤中提取测定结果的数据的时间间隔即采样周期；

反复进行所述采样步骤、所述评价值计算步骤以及所述采样周期控制步骤，

在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期设定为正常周期，在时序数据的评价值即在所述评价值计算步骤中求取的评价值为异常时，将在下一次的采样步骤中求取相同种类的时序数据时的采样周期设定为比所述正常周期短的异常周期。

2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期设定为所述异常周期。

3.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取相同种类的时序数据时的采样周期设定为所述异常周期。

4.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的偏差超过了预先设定的容许值时，将求取相同种类的时序数据时的采样周期设定为所述异常周期。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期设定为所述异常周期时，将求取与将采样周期设定为所述异常周期的时序数据建立关联关系的其他时序数据时的采样周期设定为所述异常周期。

6.根据权利要求5所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，利用将所述时序数据的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表，将求取所述其他时序数据时的采样周期设定为所述异常周期。

7.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，利用将正常周期及异常周期与所述时序数据的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表，控制求取所述时序数据时的采样周期。

8.根据权利要求7所述的数据处理方法，其特征在于，

所述采样周期定义表还将自动恢复标志与所述时序数据的种类建立对应关系并存储，

在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期设定为所述异常周期时的原因消除、并且存储在所述采样周期定义表中的与所述时序数据对应的自动恢复标志有效时，将求取相同种类的时序数据时的采样周期设定为所述正常周期。

9.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述采样步骤中，通过从由所述基板处理装置得到的测定数据中按照在所述采样周期控制步骤中控制的采样周期提取数据，来求取所述时序数据。

10.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

所述基准数据是其他时序数据。