[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质

说明书

本发明提供一种能够在异常发生前获取详细的数据的数据处理方法。数据处理方法包括：采样步骤(S103)，基于基板处理装置(20)的物理量的测定结果来求取时序数据7；评价值计算步骤(S105)，将时序数据(7)与基准数据(8)进行来求取时序数据(7)的评价值；以及采样周期控制步骤，对每个时序数据(7)控制在采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中，在初始状态下将所有采样周期控制为正常周期(S101)，在时序数据(7)的评价值为异常时，将求取时序数据(7)时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。

技术领域

本发明涉及数字数据处理，尤其涉及由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置以及记录介质。

背景技术

作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并对将测定结果按时序顺序排列得到的时序数据进行分析的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且分析该异常的时序数据来确定异常的发生位置或原因。

半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包括用于对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元根据预先设定的流程(称为规程)对基板进行处理。此时基于各处理单元的测定结果，得到时序数据。通过对得到的时序数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。

关于本发明，日本特开2008-42005号公报中记载了一种数据收集方法，在按照规定的采样周期从测量器收集测定数据时，根据基板处理装置的状态切换采样周期。日本特开2017-83985号公报中记载了一种数据处理装置，将多个时序数据分为多个组，求取各组的异常度及各组内的时序数据的异常度，并且显示基于异常度将组或时序数据进行排序的结果。

发明内容

然而，日本特开2008-42005号公报所记载的数据收集方法中，存在由于切换采样周期的时机不恰当，而不能在基板处理装置中发生异常前获取详细的数据的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种能够在基板处理装置中发生异常前获取详细的数据的数据处理方法。

本发明的第1实施方式是一种数据处理方法，其特征在于，

所述数据处理方法包括：

采样步骤，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，

评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及

采样周期控制步骤，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；

在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。

本发明的第2实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。

本发明的第3实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，

在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。

本发明的第4实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，